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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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一、產(chǎn)品概述
GR90A是日本ULVAC（愛發(fā)科）株式會(huì)社旗下GR系列多級(jí)羅茨型干式真空泵的中堅(jiān)型號(hào)。ULVAC作為的真空技術(shù)綜合解決方案提供商，在從低真空到超高真空的全系列真空獲得設(shè)備領(lǐng)域擁有深厚技術(shù)積累。干泵“Model:GR"是以獲得良好業(yè)績(jī)和信賴的“Model:LR/HR"為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的泵。LR/HR系列在半導(dǎo)體和FPD制造領(lǐng)域歷經(jīng)多年市場(chǎng)驗(yàn)證，GR系列在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了簡(jiǎn)化與優(yōu)化，以更低的購(gòu)置成本和更簡(jiǎn)潔的結(jié)構(gòu)，服務(wù)于一般工業(yè)領(lǐng)域?qū)崈粽婵盏男枨蟆?/p>
GR90A作為GR系列的中等規(guī)格型號(hào)，位于GR60A與GR180A之間，在排氣能力、機(jī)體尺寸和運(yùn)行成本之間取得了良好的平衡。其最大排氣速度在50Hz下為112 m3/h（1860 L/min），在60Hz下為126 m3/h（2100 L/min），極限壓力達(dá)到5.0 Pa，可在大氣壓與真空之間反復(fù)抽氣，尤其適用于需要高吞吐量的裝卸鎖腔（load lock chamber）及各類一般工業(yè)真空應(yīng)用場(chǎng)景。該泵型可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域，可在高負(fù)荷下持續(xù)使用，并適用load lock室（裝載/卸載室），可實(shí)現(xiàn)高吞吐量。
二、核心技術(shù)原理：多級(jí)羅茨型干泵的工作機(jī)制
2.1 總體原理
多級(jí)羅茨型干式真空泵是一種在真空腔內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。其核心設(shè)計(jì)理念是通過多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子串聯(lián)壓縮的方式，實(shí)現(xiàn)氣體從大氣壓入口至大氣壓排出的全干式輸送路徑。
泵體盒狀殼體內(nèi)部裝有一對(duì)以相反方向同步旋轉(zhuǎn)的三葉轉(zhuǎn)子，通過一對(duì)齒輪確保兩者以相同速度、相反方向運(yùn)轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與殼體之間始終保持微小間隙，不產(chǎn)生接觸摩擦，依靠轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)將氣體吸入、壓縮并排出。
2.2 多級(jí)結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)邏輯
單級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子自身的壓縮能力有限，無法單靠一級(jí)轉(zhuǎn)子克服大氣壓將氣體排出泵外，因此需要配合前級(jí)泵工作。GR系列通過串聯(lián)多級(jí)轉(zhuǎn)子來逐級(jí)增加氣體的壓縮程度：第一級(jí)轉(zhuǎn)子吸入氣體并增壓后送入第二級(jí)，第二級(jí)進(jìn)一步增壓后送入第三級(jí)……直至最后一級(jí)的壓力達(dá)到足以將氣體排出泵體并排放至大氣。正是這種多級(jí)“接力壓縮"的構(gòu)型，使得干泵能夠直接吸入從大氣壓開始的氣體并持續(xù)工作至目標(biāo)極限壓力，無需額外的前級(jí)泵。
GR系列在多級(jí)壓縮過程中對(duì)各級(jí)轉(zhuǎn)子之間的配合和間隙控制進(jìn)行了精密工程優(yōu)化，使泵體在從大氣壓抽入到中真空區(qū)域的整個(gè)壓力范圍內(nèi)都能保持平穩(wěn)流暢的壓縮過程。
2.3 無油設(shè)計(jì)的潔凈保障
多級(jí)羅茨型干泵在轉(zhuǎn)子與殼體之間不使用油或其他密封液體，從而實(shí)現(xiàn)了潔凈的排氣品質(zhì)。齒輪和軸承所需的潤(rùn)滑油被限制在獨(dú)立的密封腔內(nèi)，通過特殊密封結(jié)構(gòu)隔離，防止油蒸氣或油液進(jìn)入殼體內(nèi)部的真空區(qū)域。在半導(dǎo)體、FPD、電子等行業(yè)中，需要更清潔的真空環(huán)境，真空泵有助于提高良率和維護(hù)便利性。
GR系列繼承了這一關(guān)鍵技術(shù)理念，在面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)中，依然保留了與LR/HR系列相同層次的潔凈排氣能力，確保抽排空氣、惰性氣體等潔凈氣體時(shí)不引入油污染。
三、核心技術(shù)規(guī)格
GR90A的主要技術(shù)參數(shù)如下：
| 參數(shù)項(xiàng) | 單位 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 最大排氣速度 | m3/h | 112 | 126 |
| L/min | 1860 | 2100 | |
| cfm | 65.7 | 74.2 | |
| 極限壓力 *1 | Pa | 5.0 | 5.0 |
| 最大入口壓力 | — | 大氣壓 | 大氣壓 |
| 最大排氣口壓力 | Pa | 1.0 ~ 大氣壓 | 1.0 ~ 大氣壓 |
| 吸氣口法蘭 | — | VG80（相當(dāng)于VG80或ISO80F） | |
| 排氣口法蘭 | — | NW40 | |
| 電機(jī)輸出功率 | kW | 3.7 | 3.7 |
| 電機(jī)電壓 @50Hz | V | 200~240 / 380~415 | |
| 電機(jī)電壓 @60Hz | V | 200~240 / 380~460 | |
| 重量 | kg | 188 | |
| 冷卻方式 | — | 冷卻水 | |
| 冷卻水供給壓力 | MPa | 0.1~0.3 | |
| 冷卻水進(jìn)/出口壓差 | MPa | >0.1 | |
| 冷卻水溫度 *2 | ℃ | 10~30 | |
| 冷卻水流量 | L/min | >5.0 | |
| 氮?dú)庖淮蝹?cè)供給壓力 | MPa | 0.1~0.5 | |
| 氮?dú)舛蝹?cè)調(diào)節(jié)壓力 *3 | MPa | 0.05~0.1（運(yùn)行時(shí)） | |
| 軸封氮?dú)饬髁?/span> *4 | SLM | 5.0 | |
| DRP表面處理 | — | 標(biāo)配 |
數(shù)據(jù)來源及說明
1 極限壓力為氮?dú)猓ㄝS封氣體）為5.0 SLM時(shí)的值。
2 不可結(jié)露。
3 該值為氣體調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)后的壓力表讀數(shù)。
4 氮?dú)猓ㄝS封氣體）的流量固定為5.0 SLM。
規(guī)格數(shù)據(jù)來源
技術(shù)說明：GR90A與前后的GR60A（最大抽速62/80 m3/h）和GR180A（最大抽速183/237 m3/h）共同構(gòu)成了GR產(chǎn)品線，用戶可根據(jù)抽速需求選擇對(duì)應(yīng)型號(hào)。
四、核心特點(diǎn)與技術(shù)優(yōu)勢(shì)
4.1 高負(fù)荷持續(xù)運(yùn)行能力
GR系列顯著的特點(diǎn)在于其能夠在大氣壓與真空之間反復(fù)抽氣，并在高壓范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)行。這一特性使其特別適用于需要頻繁進(jìn)行“大氣-真空-大氣"切換循環(huán)的工藝設(shè)備，例如各類成膜設(shè)備的裝卸鎖腔（load lock chamber）——每一次裝卸工件都需要對(duì)腔體進(jìn)行抽氣/破真空切換。GR90A的設(shè)計(jì)使其能夠承受這種高負(fù)荷循環(huán)工況，而不會(huì)出現(xiàn)軸承過熱或內(nèi)部磨損加速的問題。
4.2 面向一般產(chǎn)業(yè)的簡(jiǎn)化設(shè)計(jì)
GR系列是在獲得良好業(yè)績(jī)和信賴的LR/HR系列的基礎(chǔ)上，為一般工業(yè)設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的泵。與LR/HR系列相比，GR系列在保留潔凈排氣核心能力的同時(shí)，簡(jiǎn)化了部分面向半導(dǎo)體特殊工藝的高級(jí)功能（如復(fù)雜的溫度控制系統(tǒng)和腐蝕性氣體耐受設(shè)計(jì)），從而降低了購(gòu)置成本，使之更適合不需要處理特殊腐蝕性氣體的一般工業(yè)場(chǎng)景。其簡(jiǎn)潔的設(shè)計(jì)也使現(xiàn)場(chǎng)的維護(hù)操作更加容易。
4.3 電機(jī)配置靈活：感應(yīng)電機(jī)與防爆電機(jī)選項(xiàng)
GR90A采用通用感應(yīng)電機(jī)作為標(biāo)準(zhǔn)動(dòng)力配置，并支持多電壓兼容，適應(yīng)全球不同地區(qū)的電源標(biāo)準(zhǔn)。用戶在下單時(shí)可選擇200V等級(jí)電機(jī)或多電壓電機(jī)，覆蓋50/60Hz多種頻率和200~460V等多樣電壓范圍。
此外，GR90A可選裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)方案。對(duì)于需要抽排易燃易爆氣體（如氫氣、甲烷等）或部署于防爆區(qū)域的應(yīng)用場(chǎng)景，防爆電機(jī)選配件提供了必要的安全合規(guī)保障。
4.4 無油潔凈排氣
GR90A的泵腔內(nèi)部不使用任何油或液體進(jìn)行密封和潤(rùn)滑，因此抽排出的氣體絕對(duì)潔凈。在FPD、電子和半導(dǎo)體等行業(yè)中，需要更清潔的真空環(huán)境，真空泵有助于提高良率。同時(shí)，在真空干燥、真空脫泡、真空隔熱氣體置換等一般工業(yè)應(yīng)用中，無油排氣也保障了產(chǎn)品的品質(zhì)穩(wěn)定性，不會(huì)因?yàn)橛驼魵鉁舳绊懜稍镄Ч蛭廴井a(chǎn)品表面。
4.5 冷卻水冷卻與氮?dú)廨S封
GR90A采用冷卻水強(qiáng)制冷卻方式。選配的DRP表面處理進(jìn)一步增強(qiáng)了泵體在高負(fù)荷運(yùn)行下關(guān)鍵部位的熱管理能力。在連續(xù)高壓運(yùn)行或反復(fù)循環(huán)抽氣時(shí)，冷卻水確保泵腔溫度維持在安全區(qū)間，避免轉(zhuǎn)子因熱膨脹導(dǎo)致間隙變化而產(chǎn)生刮擦。
氮?dú)廨S封系統(tǒng)是GR90A不可忽視的一項(xiàng)精密設(shè)計(jì)。在軸封處持續(xù)通入5.0 SLM的高純度氮?dú)?，形成正壓屏障，有效阻止軸承和齒輪箱中的潤(rùn)滑油蒸氣通過軸的位置反向遷移進(jìn)入泵腔。這是干泵實(shí)現(xiàn)腔體潔凈排氣的重要技術(shù)保障。
4.6 DRP表面處理
GR90A標(biāo)配DRP表面處理。這一處理工藝主要用于改善泵體內(nèi)部通道的表面特性，在長(zhǎng)期抽排含水蒸氣的工藝氣體時(shí)，有助于減少凝露積聚，同時(shí)增強(qiáng)泵體的耐腐蝕能力。
4.7 緊湊結(jié)構(gòu)與兼容的接口
GR90A進(jìn)氣口配置為VG80規(guī)格（相當(dāng)于VG80或ISO80F），排氣口為NW40規(guī)格，重量為188 kg。與GR180A的268 kg相比，GR90A在重量上更為輕便，為設(shè)備集成商節(jié)省了支撐結(jié)構(gòu)的成本，也便于現(xiàn)場(chǎng)安裝部署。
4.8 可搭配大排氣量消音器
GR系列各型號(hào)均可選配專用的消音器配件以降低運(yùn)行噪音。GR90A與GR60A共用RS-01+套件A型消音器，該消音器采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，GBB防銹處理，重量4.1 kg，接口為KF40。在需要低噪音工作環(huán)境的場(chǎng)合（如實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)中心或?qū)υ胍粲邢拗频纳a(chǎn)區(qū)域），消音器可將運(yùn)行噪音顯著降低。
五、產(chǎn)品系列定位與差異化分析
GR系列包含GR60A、GR90A和GR180A三款標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)，覆蓋從60 m3/h到237 m3/h的抽速范圍。GR90A在該系列中處于中間定位，用戶可根據(jù)抽速需求和預(yù)算進(jìn)行階梯選型。
| 型號(hào) | 50Hz抽速（m3/h） | 60Hz抽速（m3/h） | 電機(jī)功率（kW） | 重量（kg） | 進(jìn)氣口法蘭 | 定位 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| GR60A | 62（1030 L/min） | 80（1333 L/min） | 2.2 | 128 | VG50 | 小腔體/入門級(jí)快速抽空 |
| GR90A（本文） | 112（1860 L/min） | 126（2100 L/min） | 3.7 | 188 | VG80 | 中等抽速/高負(fù)荷反復(fù)排氣 |
| GR180A | 183（3100 L/min） | 237（3850 L/min） | 7.5 | 268 | ISO80F | 大容積/高吞吐量需求 |
數(shù)據(jù)來源
GR系列在ULVAC干泵產(chǎn)品矩陣中的定位是為一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)潔結(jié)構(gòu)型號(hào)。相比CR系列（風(fēng)冷、經(jīng)濟(jì)緊湊型），GR系列通過水冷配置實(shí)現(xiàn)了更高抽速上限和更高的持續(xù)運(yùn)行能力，能夠承受更頻繁的高負(fù)荷工況。相比面向CVD/刻蝕等半導(dǎo)體工藝優(yōu)化的HR/LR系列，GR系列采用了簡(jiǎn)化的結(jié)構(gòu)，降低了初期采購(gòu)成本，更適合無需處理腐蝕性氣體的一般工業(yè)場(chǎng)景。
六、典型應(yīng)用場(chǎng)景
6.1 各類成膜設(shè)備的裝卸鎖腔
在各種物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）等成膜設(shè)備中，load lock chamber（裝卸鎖腔）負(fù)責(zé)在保持主工藝腔真空狀態(tài)的同時(shí)，完成基片的裝載/卸載操作。每一次開門裝卸都意味著對(duì)鎖腔進(jìn)行一次從大氣壓到真空的抽氣循環(huán)。GR90A在負(fù)荷腔應(yīng)用中具有顯著優(yōu)勢(shì)：可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域，適用load lock室，可實(shí)現(xiàn)高吞吐量。112 m3/h的抽速（50Hz）確保了鎖腔能夠在短時(shí)間內(nèi)完成抽氣，從而降低設(shè)備整體生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間（Tact Time），提升設(shè)備產(chǎn)出效率。
6.2 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
GR90A專用于空氣、氮?dú)?、氬氣等非腐蝕性潔凈氣體的真空排氣。在潔凈環(huán)境中運(yùn)行，能夠確保抽排氣體的純凈度，不會(huì)產(chǎn)生油霧或顆粒物排放污染生產(chǎn)環(huán)境。對(duì)于半導(dǎo)體輔助工藝、FPD潔凈車間及相關(guān)上下游產(chǎn)業(yè)而言，GR90A的無油特性是保障產(chǎn)品良率和工藝潔凈度的關(guān)鍵因素。
6.3 真空干燥
在藥液干燥、食品冷凍干燥、化學(xué)產(chǎn)品脫水減濕等工業(yè)干燥工藝中，需要快速建立真空以降低液體的沸點(diǎn)，在低溫下完成干燥。GR90A的112 m3/h抽速（50Hz）和可持續(xù)高負(fù)荷運(yùn)行能力，尤其適合間歇式批次干燥設(shè)備的粗抽階段。配合真空腔體本身和氮?dú)廨S封的潔凈特性，GR90A可確保干燥過程中不引入油污染，從而符合食品、制藥領(lǐng)域嚴(yán)苛的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)控制要求。
6.4 真空氣體置換與真空脫泡
在合成樹脂、環(huán)氧材料、電子膠粘劑及鋰電電解液的生產(chǎn)工藝中，真空脫泡是的一環(huán)——在負(fù)壓環(huán)境下，材料內(nèi)部溶解的氣體被抽出，從而消除氣泡，避免成品出現(xiàn)孔洞缺陷。GR90A能夠在脫泡設(shè)備的多個(gè)工作循環(huán)中保持穩(wěn)定的抽速和極限壓力，確保脫泡效果的一致性。
在真空隔熱板制造、氣體填充封裝的工藝中，GR系列可用于真空氣體置換，設(shè)備內(nèi)部的空氣被抽真空后充入高純氣體。GR90A在此場(chǎng)景下能夠提供潔凈的真空環(huán)境和高抽速，縮短置換時(shí)間，提高封裝效率。
6.5 一般工業(yè)復(fù)合需求
GR90A已廣泛應(yīng)用于包括真空熱處理爐的氣體置換、冷媒灌裝抽空預(yù)處理、電池注液前腔體排氣等更多交叉工業(yè)場(chǎng)景。由于其無需頻繁更換泵油、維護(hù)周期長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔易懂，在產(chǎn)線標(biāo)準(zhǔn)化程度高但真空技術(shù)維護(hù)能力有限的工廠，GR90A提供了可靠的運(yùn)行保障。
適用氣體限制：GR90A僅適用于潔凈氣體的真空排氣，不用于抽取含有高濃度腐蝕性物質(zhì)、大量粉塵顆?；蛞兹伎杀詺怏w的工藝應(yīng)用場(chǎng)景。
七、安裝與維護(hù)須知
7.1 安裝環(huán)境與機(jī)房設(shè)計(jì)
GR90A為水冷機(jī)型，應(yīng)安裝在具備冷卻水供應(yīng)設(shè)施的廠房環(huán)境中。泵體與其他發(fā)熱設(shè)備之間應(yīng)保持足夠的散熱間距。冷卻水供給條件必須滿足以下要求：一次側(cè)供給壓力0.1~0.3 MPa，泵進(jìn)出口壓差大于0.1 MPa，供水溫度10~30℃，流量不低于5.0 L/min。
若冷卻水壓不足、水溫超標(biāo)或流量偏小，可能導(dǎo)致泵體溫升超標(biāo)，壓縮過程中的熱量積聚可能引發(fā)轉(zhuǎn)子熱膨脹增加，繼而影響轉(zhuǎn)子間隙的穩(wěn)定性，嚴(yán)重情況下可能縮短軸承和軸封的使用壽命。
7.2 氮?dú)廨S封的正確使用
氮?dú)廨S封需要持續(xù)供應(yīng)高純氮?dú)猓淮蝹?cè)供給壓力為0.1~0.5 MPa，二次側(cè)調(diào)節(jié)壓力0.05~0.1 MPa（運(yùn)行時(shí)），流量固定為5.0 SLM。氮?dú)夤?yīng)中斷將破壞軸封保護(hù)屏障，可能導(dǎo)致油蒸氣遷移進(jìn)入泵腔，喪失干泵的潔凈工作特性。在設(shè)備調(diào)試和運(yùn)行期間應(yīng)確保氮?dú)夤苈吠〞碂o泄漏。
7.3 配管要求
GR90A吸氣口法蘭為VG80規(guī)格（相當(dāng)于VG80或ISO80F），排氣口為NW40規(guī)格，用戶應(yīng)根據(jù)接口規(guī)格選配波紋管、閥門、管道組件。配管截面不應(yīng)小于接口標(biāo)稱尺寸，以防止額外流導(dǎo)損失降低有效抽速。
7.4 防爆配置的合規(guī)選用
在涉及氫氣、氣體燃料等易燃易爆氣體的工藝中，可選裝防爆電機(jī)以滿足安全標(biāo)準(zhǔn)。用戶應(yīng)結(jié)合所在工廠的防爆區(qū)域等級(jí)（如中國(guó)GB 3836標(biāo)準(zhǔn)等）以及氣體類別，在訂購(gòu)前明確防爆電機(jī)規(guī)格。
7.5 日常維護(hù)要點(diǎn)
GR系列不需要頻繁更換真空泵油，大大降低了日常維護(hù)的工作量。主要維護(hù)項(xiàng)目集中在以下方面：
電動(dòng)機(jī)：檢查電流和發(fā)熱是否正常，定期清理風(fēng)扇及散熱片上的積塵；
冷卻水系統(tǒng)：檢查供水壓力和流量，確認(rèn)無泄漏，定期檢查水管內(nèi)壁結(jié)垢情況；
氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)：檢查供氣壓力和流量是否符合設(shè)定值；
軸封及軸承：依據(jù)運(yùn)行時(shí)間的累計(jì)考慮適當(dāng)更換周期，具體請(qǐng)參照產(chǎn)品《使用說明書》。
7.6 啟動(dòng)前檢查
安裝或長(zhǎng)期停機(jī)后重新運(yùn)行前，必須嚴(yán)格按照操作手冊(cè)檢查電源電壓及相序、冷卻水供回水通暢性、氮?dú)馔窌惩ㄐ砸约案鞣ㄌm連接的氣密性。禁止在氮?dú)饣蚶鋮s水任一條件缺失的情況下啟動(dòng)泵，否則可能造成泵體損壞或軸封系統(tǒng)失效。
八、配件：消音器的選配建議
GR90A可標(biāo)配RS-01+套件A型消音器，大幅降低排氣口噪音。該消音器技術(shù)規(guī)格如下：
| 規(guī)格項(xiàng) | 參數(shù) |
|---|---|
| 產(chǎn)品型號(hào) | RS-01+套件A |
| 材質(zhì) | SUS304不銹鋼 |
| 表面處理 | GBB防銹處理 |
| 重量 | 4.1 kg |
| 法蘭接口 | KF40 |
| 適用泵型 | GR60A、GR90A |
數(shù)據(jù)來源
GR180A（最大排氣速度較大者）則需選用RS-01+套件C型消音器（重量8.3 kg，接口KF40）。
GR90A與GR60A共用套件A消音器。
在實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)中心或半導(dǎo)體輔助區(qū)域的安裝環(huán)境下，消音器能有效降低排氣氣流的尖銳噪聲，改善操作人員的工作舒適度。建議在安裝管道時(shí)將消音器出口引向室外或車間排風(fēng)總管，以減少排氣口的剩余噪聲疊加。
九、選型建議
GR90A在GR系列中位于中等抽速段，適合以下場(chǎng)景的用戶選擇：
真空系統(tǒng)容積適中，不足以匹配GR180A超200 m3/h抽速的需求，但GR60A的62 m3/h抽速導(dǎo)致抽氣時(shí)間偏長(zhǎng)的情況；
工藝過程中需要較高頻率地進(jìn)行大氣-真空切換循環(huán)，應(yīng)用高負(fù)荷持續(xù)運(yùn)行模式，且要求較短的抽空節(jié)拍時(shí)間；
客戶車間已具備冷卻水供應(yīng)條件，可以使用高效率的水冷機(jī)型；
只需處理清潔氣體（空氣、惰性氣體），不存在腐蝕性氣體的排放要求；
用戶期望獲得≥112 m3/h的抽速（50Hz標(biāo)準(zhǔn)）并配制3.7kW三相電機(jī)。
對(duì)于抽速需求較?。ㄐ∮?0 m3/h）的應(yīng)用場(chǎng)景，可選用GR60A以降低初期投資和節(jié)約運(yùn)行資源；而對(duì)于抽速需求超過200 m3/h的大型真空系統(tǒng)，GR180A則更為匹配。
十、總結(jié)
ULVAC愛發(fā)科GR90A多級(jí)羅茨型干泵是多級(jí)羅茨無油技術(shù)、高負(fù)荷連續(xù)運(yùn)行能力與簡(jiǎn)潔工業(yè)設(shè)計(jì)相結(jié)合的一款中型干式真空泵。相比GR60A具有更高的抽速和電機(jī)功率，同時(shí)又比GR180A保持更輕的重量和更緊湊的外形，在中間性能區(qū)域提供了精準(zhǔn)有效的型號(hào)選擇。
其核心優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在：
高負(fù)荷耐受性：可在大氣壓與真空之間反復(fù)抽氣，并在高壓范圍連續(xù)運(yùn)行，特別適合負(fù)荷室和批次式真空工藝的嚴(yán)苛工況；
無油潔凈排氣：轉(zhuǎn)子腔體內(nèi)不接觸潤(rùn)滑油，確保排氣絕對(duì)清潔，符合半導(dǎo)體、FPD、電子及食品醫(yī)藥級(jí)別的潔凈標(biāo)準(zhǔn)；
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，維護(hù)便捷：面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)降低了現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)的技術(shù)門檻和停機(jī)時(shí)間；
電機(jī)靈活性：可選配防爆電機(jī)、支持多電壓供電，方便在多種電源環(huán)境和安全規(guī)范下部署；
配件支持：可選配消音器、防爆電機(jī)、DRP表面處理等，滿足不同運(yùn)行條件和環(huán)保規(guī)范要求。
GR90A以其優(yōu)異的綜合性能，成為一般工業(yè)客戶在潔凈真空應(yīng)用場(chǎng)景中值得信賴的干泵選項(xiàng)。對(duì)于需要穩(wěn)定高負(fù)荷運(yùn)行、要求無油排氣品質(zhì)并適應(yīng)水冷工廠環(huán)境的用戶而言，GR90A能夠提供長(zhǎng)期可靠的服務(wù)。ULVAC的售后網(wǎng)絡(luò)遍布全球，有助于用戶在安裝、使用和維護(hù)過程中獲得及時(shí)、專業(yè)的技術(shù)支持。
