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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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TG350FCAB（日本 OSAKA 大阪真空 渦輪分子泵）
滾珠軸承型、CF100 法蘭、風(fēng)冷、一體式 TC353 控制器，和你之前查的荏原 ESA100W 干式羅茨泵是前級泵 + 分子泵標(biāo)準(zhǔn)真空機(jī)組搭配
型號含義
TG350F：350L/s 系列分子泵
C：進(jìn)氣口 CF100 法蘭
A：風(fēng)冷
B：內(nèi)置一體式控制器（TC353）
核心參數(shù)
氮氣抽速：330 L/s（CF100），VG 法蘭版 350 L/s
轉(zhuǎn)速：46,000 rpm
極限真空：＜1×10?? Pa
前級接口：KF25（適配 ESA100W）
冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷
啟動時間：2–2.5 min；停機(jī)時間：5–6.5 min
重量：9 kg
耐壓：可承受 400 次以上大氣沖擊，抗震、任意角度安裝
關(guān)鍵特點
油脂潤滑滾珠軸承，體積小、重量輕、成本低
高壓縮比，高背壓可連續(xù)運行，適配大流量工藝
自帶控制器，支持串口通訊，兼容 SEMI?S2、CE、NRTL
風(fēng)冷免水冷，維護(hù)簡單，適合半導(dǎo)體、鍍膜、分析儀器
