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平臺(tái)臺(tái)面:多采用大理石或合金材質(zhì),具備高剛性、高平面度特性,表面經(jīng)精密研磨處理,可直接用于光學(xué)元件、精密儀器的安裝固定,避免自身形變影響實(shí)驗(yàn)精度;
三線擺支撐結(jié)構(gòu):由三根擺桿及連接件組成,是實(shí)現(xiàn)低頻隔振的核心,通過(guò)擺桿的擺動(dòng)阻尼消耗振動(dòng)能量,配合氣浮系統(tǒng)進(jìn)一步提升隔振效果;
氣動(dòng)隔振元件:主要為空氣彈簧或橡膠氣囊,負(fù)責(zé)將臺(tái)面懸浮,通過(guò)調(diào)節(jié)氣壓控制懸浮高度與穩(wěn)定性,是氣浮隔振的關(guān)鍵執(zhí)行部件;
氣路系統(tǒng):包括空氣源(無(wú)油空壓機(jī))、三級(jí)過(guò)濾器(除水、除油、除塵)、穩(wěn)壓閥、氣管及接頭,為氣浮系統(tǒng)提供潔凈、干燥、穩(wěn)定的高壓空氣;
支撐調(diào)節(jié)系統(tǒng):由可調(diào)地腳、水平調(diào)節(jié)器組成,用于安裝時(shí)的水平校準(zhǔn)與高度調(diào)節(jié),確保平臺(tái)處于最佳工作姿態(tài)。
遠(yuǎn)離強(qiáng)振動(dòng)源:避開(kāi)風(fēng)機(jī)、水泵、電梯、空壓機(jī)及馬路等振動(dòng)源,建議距離振動(dòng)源≥3米,防止外界振動(dòng)直接傳遞至平臺(tái);
地面要求:地面需堅(jiān)實(shí)、平整,起伏不超過(guò)2mm/m2,傾斜度不超過(guò)0.2°,避免地面不平導(dǎo)致平臺(tái)受力不均、氣膜厚度不一致;
環(huán)境參數(shù):溫度控制在18-25℃,相對(duì)濕度40%-70%,避免陽(yáng)光直射、空調(diào)出風(fēng)口直吹,防止溫度梯度引起空氣擾動(dòng);同時(shí)遠(yuǎn)離強(qiáng)磁場(chǎng)環(huán)境,避免干擾精密儀器運(yùn)行;
空間要求:平臺(tái)周圍需預(yù)留足夠操作空間(建議四周≥50cm),便于氣路連接、儀器布置及后續(xù)維護(hù)。
檢查平臺(tái)臺(tái)面、三線擺支撐結(jié)構(gòu)、氣動(dòng)隔振元件是否有磕碰、劃痕或破損,大理石臺(tái)面需重點(diǎn)檢查是否有裂紋;
檢查氣路系統(tǒng)部件(空壓機(jī)、過(guò)濾器、穩(wěn)壓閥、氣管、接頭)是否完好,氣管無(wú)破損、接頭無(wú)松動(dòng);
檢查調(diào)節(jié)部件(可調(diào)地腳、水平調(diào)節(jié)器、水平儀)是否齊全、靈活,無(wú)卡滯現(xiàn)象;
檢查空壓機(jī)潤(rùn)滑油位,通過(guò)觀油鏡或油尺確認(rèn)油量充足,如需補(bǔ)充,需使用DB-10號(hào)變壓器油;同時(shí)檢查空壓機(jī)加油塞、呼吸塞內(nèi)密封圈是否取下,內(nèi)部海綿塞是否放置到位,保證進(jìn)氣暢通。
將無(wú)油空壓機(jī)放置在遠(yuǎn)離平臺(tái)的位置(避免空壓機(jī)振動(dòng)干擾),連接空壓機(jī)與三級(jí)過(guò)濾器,確保接口密封,過(guò)濾器安裝方向正確(進(jìn)氣口接空壓機(jī),出氣口接穩(wěn)壓閥);
通過(guò)氣管將穩(wěn)壓閥與平臺(tái)底部的氣動(dòng)隔振元件接口連接,氣管布置需整齊,避免彎折、扭曲,接頭處用卡扣固定牢固,防止漏氣;
檢查氣路系統(tǒng)所有接口,可在接口處涂抹肥皂水,觀察是否有氣泡產(chǎn)生,如有氣泡需重新緊固接口,確保無(wú)泄漏。
未充氣狀態(tài)校準(zhǔn):將水平儀放置在臺(tái)面中心及四個(gè)角落,調(diào)節(jié)可調(diào)地腳,使臺(tái)面在X、Y兩個(gè)方向均達(dá)到初步水平,偏差控制在允許范圍內(nèi);
充氣狀態(tài)校準(zhǔn):開(kāi)啟空壓機(jī),緩慢打開(kāi)進(jìn)氣閥門,調(diào)節(jié)穩(wěn)壓閥,使氣壓穩(wěn)定在0.4-0.6MPa(具體壓力需參照設(shè)備說(shuō)明書(shū)),讓平臺(tái)平穩(wěn)升起至設(shè)計(jì)浮升高度(通常5-20μm);待平臺(tái)穩(wěn)定1-2分鐘后,再次用水平儀檢查臺(tái)面水平度,通過(guò)調(diào)節(jié)水平調(diào)節(jié)器,修正水平偏差,確保臺(tái)面無(wú)傾斜、無(wú)晃動(dòng)。
隔振效果測(cè)試:輕觸臺(tái)面,觀察臺(tái)面恢復(fù)穩(wěn)定的時(shí)間(正常情況下1-2秒內(nèi)恢復(fù)平穩(wěn)),也可借助振動(dòng)傳感器檢測(cè)振動(dòng)幅度,確保符合設(shè)備技術(shù)參數(shù);
氣路穩(wěn)定性測(cè)試:持續(xù)通氣30分鐘,觀察氣壓表讀數(shù)是否穩(wěn)定,氣路接口無(wú)泄漏,氣動(dòng)隔振元件無(wú)異常聲響;
臺(tái)面負(fù)載測(cè)試:在臺(tái)面中心放置與額定負(fù)載相當(dāng)?shù)闹匚铮^察臺(tái)面是否保持水平,無(wú)明顯下沉、傾斜,氣膜無(wú)破裂現(xiàn)象。
搬運(yùn)過(guò)程中需輕拿輕放,避免碰撞臺(tái)面及三線擺支撐結(jié)構(gòu),可使用吊裝設(shè)備搬運(yùn)臺(tái)面,防止臺(tái)面變形;
氣路連接前,需先開(kāi)啟空壓機(jī),排出管路內(nèi)的雜質(zhì)、水分,避免雜質(zhì)堵塞氣動(dòng)隔振元件的節(jié)流孔;
水平校準(zhǔn)需耐心細(xì)致,避免一次性調(diào)節(jié)幅度過(guò)大,確保臺(tái)面水平均勻,氣膜厚度一致;
安裝過(guò)程中,禁止在臺(tái)面上放置重物、尖銳物品,避免劃傷臺(tái)面或損壞氣浮結(jié)構(gòu)。
檢查準(zhǔn)備:確認(rèn)氣路系統(tǒng)無(wú)泄漏,空壓機(jī)潤(rùn)滑油位正常,臺(tái)面無(wú)雜物、無(wú)障礙物;
開(kāi)啟氣源:?jiǎn)?dòng)無(wú)油空壓機(jī),待空壓機(jī)壓力達(dá)到設(shè)定值(通常0.6-0.8MPa)后,打開(kāi)三級(jí)過(guò)濾器排污閥,排出過(guò)濾器內(nèi)的水分、雜質(zhì),關(guān)閉排污閥;
調(diào)節(jié)氣壓:緩慢調(diào)節(jié)穩(wěn)壓閥,將氣壓調(diào)節(jié)至設(shè)備規(guī)定值(0.4-0.6MPa),觀察平臺(tái)緩慢升起,直至達(dá)到設(shè)定浮升高度;
穩(wěn)定待機(jī):讓平臺(tái)持續(xù)通氣1-2分鐘,待臺(tái)面穩(wěn)定、無(wú)晃動(dòng)后,再進(jìn)行后續(xù)實(shí)驗(yàn)操作。
負(fù)載控制:放置的精密儀器、光學(xué)元件總重量不得超過(guò)平臺(tái)額定承載能力,避免超載導(dǎo)致氣膜破裂、臺(tái)面變形;
負(fù)載分布:儀器、元件需盡量居中布置,重型設(shè)備置于臺(tái)面中心區(qū)域,輕型附件均勻分布在四周,維持臺(tái)面重心平衡,避免偏載導(dǎo)致臺(tái)面傾斜;
操作規(guī)范:放置、取放物品時(shí)需輕拿輕放,避免沖擊臺(tái)面,禁止在臺(tái)面上進(jìn)行敲擊、鉆孔、打磨等產(chǎn)生沖擊的操作;禁止坐在、站在臺(tái)面上,或?qū)ε_(tái)面進(jìn)行推拉、壓抬;
臺(tái)面清潔:操作過(guò)程中避免水漬、油污、金屬碎屑等污染臺(tái)面,若有污漬,需用無(wú)水乙醇或?qū)S们鍧崉┎潦茫故褂酶g性清潔劑或硬物刮擦臺(tái)面。
實(shí)驗(yàn)期間,保持氣路系統(tǒng)持續(xù)通氣,禁止隨意關(guān)閉空壓機(jī)或調(diào)節(jié)氣壓,避免氣壓波動(dòng)影響隔振效果;
避免在平臺(tái)周圍劇烈走動(dòng)、碰撞支撐結(jié)構(gòu),防止產(chǎn)生瞬時(shí)振動(dòng)干擾實(shí)驗(yàn);
若實(shí)驗(yàn)過(guò)程中需調(diào)整儀器位置,需輕緩操作,避免拖動(dòng)儀器劃傷臺(tái)面,同時(shí)確保調(diào)整后儀器重心仍處于臺(tái)面中心區(qū)域;
實(shí)驗(yàn)過(guò)程中若發(fā)現(xiàn)臺(tái)面晃動(dòng)、氣壓異?;蛴挟惓B曧?,需立即停止實(shí)驗(yàn),關(guān)閉氣源,檢查故障原因,排除故障后再繼續(xù)操作。
實(shí)驗(yàn)結(jié)束后,先關(guān)閉精密儀器電源,將儀器、元件從臺(tái)面上輕輕取下,放置在專用存放處;
緩慢調(diào)節(jié)穩(wěn)壓閥,釋放氣路內(nèi)的壓縮空氣,讓平臺(tái)平穩(wěn)降落至支撐結(jié)構(gòu)上,避免臺(tái)面快速下落造成沖擊;
關(guān)閉空壓機(jī)電源,打開(kāi)空壓機(jī)儲(chǔ)氣罐排污閥,排出罐內(nèi)的水分、雜質(zhì),關(guān)閉排污閥;
清潔臺(tái)面,去除表面污漬、灰塵,用防塵罩覆蓋平臺(tái),防止灰塵進(jìn)入氣路系統(tǒng)及氣動(dòng)隔振元件。
清潔臺(tái)面:用無(wú)水乙醇擦拭臺(tái)面,去除污漬、灰塵,確保臺(tái)面潔凈,避免雜質(zhì)堵塞氣浮氣孔;
檢查氣路:觀察氣路接口是否有泄漏,氣壓表讀數(shù)是否正常,若有泄漏及時(shí)緊固接口;
排空水分:打開(kāi)空壓機(jī)儲(chǔ)氣罐及三級(jí)過(guò)濾器排污閥,排出內(nèi)部水分、雜質(zhì),避免水分腐蝕氣路部件;
覆蓋防塵:用防塵罩覆蓋平臺(tái),防止灰塵進(jìn)入氣路、氣動(dòng)隔振元件及臺(tái)面縫隙。
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