MFC 由流體通道、傳感單元、控制電路、執(zhí)行閥門、外殼及接口組件構(gòu)成，模塊化設(shè)計(jì)保障精度與穩(wěn)定性。傳感單元是核心，熱式含微加熱器與熱敏元件，壓差式配層流元件與壓差傳感器?？刂齐娐反钶d高速處理器與 PID 算法，負(fù)責(zé)信號(hào)采集、運(yùn)算與控制輸出。執(zhí)行閥門分電磁式與壓電式，壓電閥響應(yīng)更快、控制精度更高，適配制程。流體通道采用不銹鋼或特種合金，防腐蝕、耐高壓，適配高純與腐蝕性介質(zhì)。外殼屏蔽電磁干擾，接口支持模擬 / 數(shù)字通訊，可無縫接入工業(yè)控制系統(tǒng)。

蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司是一家專注微小氣體質(zhì)量流量控制器的研發(fā)，生產(chǎn)，銷售一體的公司。