山田光學(xué)工業(yè)(YAMADA)推出的YPI-150ID與YP-250I,是應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的高亮度鹵素光源檢測裝置,核心用于晶圓、液晶面板等精密元件的表面宏觀缺陷目視檢查,為半導(dǎo)體制程中的品質(zhì)管控提供關(guān)鍵光學(xué)照明支持。

一、產(chǎn)品定位與核心用途
兩款設(shè)備同屬山田光學(xué)高亮度鹵素光源檢測系列,定位為人工目視檢測的輔助照明設(shè)備,非全自動缺陷檢測系統(tǒng)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓(硅片、砷化鎵、碳化硅等)、光掩膜、液晶基板等精密表面的制程后檢查,可高效識別表面異物、微劃痕、拋光不均、霧狀缺陷、滑移線等微觀瑕疵。
二、核心技術(shù)特性
1. 超高亮度照明
峰值照度:≥400,000 勒克斯(Lux),遠超常規(guī) LED 檢測光源。
光源類型:3400K 高色溫鹵素?zé)?/span>,光譜連續(xù)、顯色性佳(Ra≈100),可清晰呈現(xiàn) 0.2 微米級細微缺陷。
照明均勻性:經(jīng)精密光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化,照射區(qū)域光場分布均勻,無中心亮斑、邊緣衰減問題。
2. 低熱輻射冷鏡技術(shù)
3. 雙檔照度切換
內(nèi)置高 / 低兩檔照度一鍵切換機構(gòu):
高照度模式:用于細微缺陷精檢、定位。
低照度模式:用于快速全域初檢、外觀瀏覽。
三、型號規(guī)格差異(YPI-150ID vs YP-250I)
| 參數(shù) | YPI-150ID | YP-250I |
|---|
| 有效照明直徑 | φ30mm | φ60mm |
| 適配晶圓尺寸 | 6 英寸及以下 | 8 英寸及以下 |
| 冷卻方式 | 自然冷卻 | 強制風(fēng)扇冷卻(螺旋槳 / 管道風(fēng)機可選) |
| 功耗 | 約 200W | 約 350W |
| 外形尺寸 | 140(W)×94(H)×185(D)mm | 135(W)×72(H)×260(D)mm |
四、適用場景與優(yōu)勢
半導(dǎo)體晶圓制程:拋光、清洗、鍍膜后表面質(zhì)量抽檢,定位納米級劃痕、殘留、顆粒污染。
光掩膜 / 基板檢測:掩膜版、玻璃基板表面缺陷目視確認。
精密元件檢查:適配對熱敏感、高平整度要求的光學(xué)元件、磁性材料表面檢測。
五、設(shè)備核心價值
高亮度:突破常規(guī)光源亮度極限,讓微米級缺陷肉眼可見。
低損傷:冷鏡控溫,保護晶圓等精密材料表面。
高效率:雙檔切換、大 / 小光斑覆蓋,適配不同尺寸與檢測節(jié)奏。
穩(wěn)定性:工業(yè)級設(shè)計,適配潔凈室 0–40℃環(huán)境連續(xù)作業(yè)。
綜上,山田光學(xué) YPI-150ID/YP-250I 以高照度、低熱輻射、高均勻性為核心優(yōu)勢,是半導(dǎo)體、顯示面板行業(yè)人工宏觀缺陷檢測環(huán)節(jié)的標準照明輔助設(shè)備,服務(wù)于精密元件的表面品質(zhì)管控流程。