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Sensofar共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀S neox 多模式切換：全表面測(cè)量實(shí)現(xiàn)路徑

閱讀：425 發(fā)布時(shí)間：2025-12-23
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Sensofar S neox 通過共聚焦、干涉、多焦面疊加技術(shù)的無縫切換，實(shí)現(xiàn)了從亞納米級(jí)光滑表面到毫米級(jí)粗糙結(jié)構(gòu)的全范圍測(cè)量覆蓋。
共聚焦技術(shù)通過針孔過濾非焦點(diǎn)光線，獲取高對(duì)比度二維圖像，縱向掃描后構(gòu)建 3D 形貌。該模式橫向分辨率達(dá) 0.10μm，搭配 150 倍、0.95 數(shù)值孔徑鏡頭時(shí)，光滑表面測(cè)量斜率達(dá) 70°，粗糙表面達(dá) 86°，Z 軸測(cè)量重復(fù)性穩(wěn)定在納米級(jí)別。適用于微小線條、縫隙等精細(xì)結(jié)構(gòu)的識(shí)別，如半導(dǎo)體芯片的線路形貌檢測(cè)。
白光干涉與相位移干涉模式針對(duì)不同光滑度表面優(yōu)化：白光干涉縱向分辨率 0.1nm，適配略帶粗糙的表面；相位移干涉達(dá)亞納米級(jí)精度，專為超光滑表面設(shè)計(jì)，且二者均不受放大倍數(shù)影響。多焦面疊加技術(shù)則聚焦粗糙表面，單次掃描深度 8mm，能應(yīng)對(duì)模具、增材制造零件等復(fù)雜結(jié)構(gòu)的測(cè)量需求。
這些模式的切換通過智能光學(xué)引擎自動(dòng)完成，用戶只需點(diǎn)擊一次操作，系統(tǒng)便依據(jù)測(cè)量任務(wù)特性選擇適配技術(shù)。例如測(cè)量光學(xué)鏡片的超光滑表面時(shí)，自動(dòng)切換至相位移干涉；檢測(cè)模具的粗糙結(jié)構(gòu)時(shí)，啟動(dòng)多焦面疊加模式。
技術(shù)模式適配表
測(cè)量模式
核心參數(shù)
適配表面類型
共聚焦
橫向 0.10μm，斜率 86°
精細(xì)結(jié)構(gòu)、中等粗糙表面
白光干涉
縱向 0.1nm，掃描深 8mm
略帶粗糙表面
相位移干涉
亞納米級(jí)縱向精度
超光滑表面
多焦面疊加
8mm 深度，86° 斜率
粗糙、復(fù)雜結(jié)構(gòu)表面
使用時(shí)，用戶無需手動(dòng)判斷模式適配性，軟件會(huì)根據(jù)預(yù)覽圖像的表面特性自動(dòng)推薦，也可在 “高級(jí)設(shè)置" 中手動(dòng)選擇。該設(shè)計(jì)大幅提升了設(shè)備對(duì)不同樣品的適配能力，覆蓋電子、汽車、醫(yī)療等多行業(yè)測(cè)量需求。

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測(cè)量模式	核心參數(shù)	適配表面類型
共聚焦	橫向 0.10μm，斜率 86°	精細(xì)結(jié)構(gòu)、中等粗糙表面
白光干涉	縱向 0.1nm，掃描深 8mm	略帶粗糙表面
相位移干涉	亞納米級(jí)縱向精度	超光滑表面
多焦面疊加	8mm 深度，86° 斜率	粗糙、復(fù)雜結(jié)構(gòu)表面

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