徠卡立體顯微鏡的照明系統(tǒng)以LED為核心,提供反射(入射)+透射雙模式,通過專用光學(xué)附件與柯勒照明原理,實現(xiàn)亮度、均勻度、對比度的精準調(diào)控,適配不同樣品與應(yīng)用。
一、核心配置與光源
光源:主流為LED(5700K日光色溫,低發(fā)熱、長壽命、色溫恒定),部分型號可選鹵素或熒光模塊
集成方案:緊湊型機型(如EZ4、S9)多為一體式LED;高性能機型(如M系列)配獨立照明底座/附件(LED3000/5000系列)。
關(guān)鍵附件:環(huán)形燈(RL)、同軸燈(CXI)、多對比度燈(MCI)、近垂直燈(NVI)、透射光底座(BLI)等。
二、兩大照明模式及工作原理
1.反射照明(入射光,IncidentLight)
適用:不透明/表面紋理樣品(電子元件、金屬、昆蟲標本),很常用。
原理:
光源(如環(huán)形LED)安裝于物鏡周圍或上方,光線經(jīng)光路組件/分光棱鏡導(dǎo)向樣品表面。
光線經(jīng)樣品反射/散射后,反向進入物鏡光學(xué)系統(tǒng),與雙目光路匯合成像。
實現(xiàn)亮場、斜光、暗場等效果,突出表面細節(jié)與三維形貌。
常見附件與用途:
環(huán)形燈(RL):大視野均勻照明,通用型。
同軸照明(CXI):光軸垂直入射,適合高反光/平整樣品(如晶圓、玻璃),可顯微裂紋。
近垂直照明(NVI):LED貼近光軸,近無陰影,適配凹坑、深孔、長工作距離樣品。
多對比度照明(MCI):多方向/多角度LED燈臂可調(diào)(0–90°),提供高對比度與真彩色,適合復(fù)雜表面。
2.透射照明(TransmittedLight)
適用:透明/半透明樣品(薄切片、塑料、植物葉片、液體)。
原理:
光源置于載物臺下方,經(jīng)聚光鏡匯聚,穿過樣品后進入物鏡。
光線穿過樣品時發(fā)生吸收、折射、散射,形成明暗對比或色彩圖像。
可切換明場、斜光、暗場,強化內(nèi)部結(jié)構(gòu)與無色樣品的對比度。
實現(xiàn)方式:
配透射光底座(BLI),內(nèi)置LED與聚光組件,即插即用。
部分機型支持斜透射/暗場透射,通過調(diào)整光闌/反射鏡,改變?nèi)肷浣嵌?,提升細?jié)可見度。
三、照明質(zhì)量控制:柯勒照明(Kohler)
徠卡系統(tǒng)默認采用柯勒照明,為標準均勻照明方案。
關(guān)鍵要點:
光源成像:光源經(jīng)集光鏡成像于聚光鏡前焦面,以平行光照射樣品,均勻無光斑。
光闌控制:
孔徑光闌:控制光束孔徑角,匹配物鏡NA,優(yōu)化分辨率與對比度。
視場光闌:限定照明區(qū)域,減少雜散光,提升圖像清晰度。
效果:視野亮度均勻、色彩還原準確,適合長期觀察與成像。
四、典型流程與控制
模式選擇:不透明樣品選反射;透明樣品選透射;高反光/裂紋選同軸/近垂直;復(fù)雜表面選多對比度。
參數(shù)調(diào)節(jié):
亮度:LED電流/功率調(diào)節(jié),0–100%線性控制。
均勻度:光闌與附件匹配,校正光斑與陰影。
對比度:切換附件(如暗場、斜光)或調(diào)整入射角。
自動化:部分機型通過LeicaLAS軟件保存照明參數(shù),一鍵復(fù)現(xiàn),適配批量檢測。
五、應(yīng)用與選型速覽
照明模式適用樣品核心優(yōu)勢典型場景
反射環(huán)形(RL)通用不透明均勻、大視野電子組裝、常規(guī)質(zhì)檢
同軸(CXI)高反光/平整無陰影、顯微裂紋晶圓、玻璃、精密零件
近垂直(NVI)深孔/凹坑近無陰影照明模具、微小器件
多對比度(MCI)復(fù)雜表面/低反差高對比度、真彩色材料失效分析、藝術(shù)品檢測
透射明場(BLI)透明/半透明色彩與結(jié)構(gòu)清晰薄切片、塑料、液體
透射斜光/暗場無色透明/微細節(jié)強化內(nèi)部結(jié)構(gòu)植物葉片、微顆粒
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