浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng)中心 ALD原子層沉積 項(xiàng)目案例分享（帶現(xiàn)場實(shí)拍）

一、項(xiàng)目背景

• 核心用氣需求：氮?dú)庾鳛楣に嚧祾邭狻⑶膀?qū)體載氣，同時(shí)為螺桿真空泵提供氣封保護(hù)氣，要求70 L/min 流量、99.5% 純度。

• 傳統(tǒng)痛點(diǎn)：高壓鋼瓶供氣存在斷供風(fēng)險(xiǎn)、純度波動(dòng)、頻繁換瓶、安全隱患大，無法匹配長時(shí)間連續(xù)實(shí)驗(yàn)需求。

二、現(xiàn)場配置實(shí)拍與方案說明

1. 當(dāng)前供氣系統(tǒng)（雙機(jī)組合方案）

• 總產(chǎn)氣量：75 L/min（滿足 70 L/min 實(shí)際需求，富余充足）

• 氮?dú)饧兌龋悍€(wěn)定 99.5%

• 系統(tǒng)連接：發(fā)生器輸出氮?dú)猓宦愤M(jìn)入 ALD 反應(yīng)腔作為吹掃 / 載氣，另一路接入螺桿真空泵作為氣封保護(hù)氣，全程無間斷供氣。

• 優(yōu)勢(shì)：雙機(jī)互為備份，運(yùn)行更穩(wěn)定，避免單臺(tái)故障導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)中斷。

2. 配套真空與溫控系統(tǒng)

• 氮?dú)獍l(fā)生器配合螺桿真空泵，構(gòu)建穩(wěn)定的真空環(huán)境，同時(shí)保護(hù)泵體不受腐蝕性前驅(qū)體損傷。

• 冷水機(jī)為 ALD 設(shè)備與真空泵提供冷卻，保障長時(shí)間連續(xù)運(yùn)行的溫度穩(wěn)定性。

3. 未來升級(jí)方案

• 額定產(chǎn)氣量：80 L/min，單機(jī)即可滿足全部用氣需求

• 優(yōu)勢(shì)：簡化管路布局、減少設(shè)備占地，運(yùn)維更便捷，適配實(shí)驗(yàn)室后續(xù)擴(kuò)容需求。

三、核心價(jià)值與項(xiàng)目成果

1. 供氣穩(wěn)定性保障

   雙機(jī)并聯(lián)系統(tǒng)輸出的氮?dú)饬髁俊⒓兌热谭€(wěn)定，有效避免了鋼瓶供氣的波動(dòng)問題，為 ALD 薄膜沉積提供了可靠氣源。

2. 科研效率大幅提升

   無需人工更換鋼瓶，科研人員可專注于實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)與數(shù)據(jù)分析，7×24 小時(shí)不間斷供氣，匹配長時(shí)間循環(huán)實(shí)驗(yàn)需求。

3. 安全與成本優(yōu)化

   消除高壓鋼瓶安全隱患，同時(shí)免去鋼瓶采購、運(yùn)輸、租賃費(fèi)用，長期運(yùn)營成本顯著降低。

四、項(xiàng)目總結(jié)