環(huán)境與臺(tái)面:實(shí)驗(yàn)臺(tái)保持干燥無(wú)塵;溫濕度控制在 20–25℃、40–60%RH,避免強(qiáng)振與直射光。
樣品臺(tái)與光窗:用無(wú)塵布蘸少量無(wú)水乙醇輕擦,禁用紙巾 / 粗糙布;濺到酸堿立即中和后再擦。
滴液系統(tǒng):用去離子水沖洗針頭至 pH 6.8–7.2;有機(jī)殘留用異丙醇超聲約 5 分鐘,氮?dú)獯蹈伞?/p>
光學(xué)與相機(jī):鏡頭用專用擦鏡紙輕擦,禁手觸;后蓋防塵罩。
電氣安全:插好地線;檢查插頭與線纜無(wú)破損。
數(shù)據(jù)與軟件:及時(shí)備份數(shù)據(jù);定期更新軟件并重啟系統(tǒng)。
滴液系統(tǒng):每周檢查密封性與滴速穩(wěn)定性;必要時(shí)更換針頭、密封圈或泵管。
機(jī)械傳動(dòng):檢查 XYZ 三軸是否平穩(wěn)無(wú)卡滯;導(dǎo)軌按說(shuō)明書加專用潤(rùn)滑油(少量不沾灰)。
光源與成像:檢查光照均勻度;用標(biāo)準(zhǔn)白板驗(yàn)證亮度;清潔光學(xué)鏡片與濾光片。
校準(zhǔn):每月用已知接觸角標(biāo)準(zhǔn)樣(如特氟龍 / 標(biāo)準(zhǔn)硅片)校準(zhǔn);軟件重算像素比例尺。
水平度:用水平儀確認(rèn)載物臺(tái)水平度偏差<0.02°。
全面點(diǎn)檢:光學(xué)組件、光源、相機(jī)、傳動(dòng)、電氣連接逐項(xiàng)檢查;記錄光源壽命與照度變化。
滴液系統(tǒng)深度維護(hù):清洗管路、校準(zhǔn)滴量;更換老化泵管與密封件。
軟件與系統(tǒng):整理數(shù)據(jù)、歸檔;檢查 / 更新驅(qū)動(dòng)與固件;運(yùn)行自檢(如壞點(diǎn)率<0.001%)。
第三方校準(zhǔn):每年送專業(yè)機(jī)構(gòu)按 ISO 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn),出具校準(zhǔn)證書。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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