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法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗，其研發(fā)的UV- KUB微流控芯片光刻機/曝光機系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，可以直接放置在實驗臺上，能夠處理大直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預(yù)熱，也不需要單獨的冷卻單元。另外，UV-KUB系列*的設(shè)計，保證了光源的準(zhǔn)直性和均勻性，其小分辨率可達(dá)2μm，大發(fā)散角小于2°