JXA-8230電子探針是一種利用電子束作用樣品后產(chǎn)生的特征X射線進(jìn)行微區(qū)成分分析的儀器，可以用來分析薄片中礦物微區(qū)的化學(xué)組成。除H、He、Li、Be等幾個(gè)較輕元素外，還有U元素以后的元素以外都可進(jìn)行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經(jīng)過加速和聚焦的極窄的電子束為探針，激發(fā)試樣中某一微小區(qū)域，使其發(fā)出特征X射線，測(cè)定該X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度，即可對(duì)該微區(qū)的元素作定性或定量分析。
 

　　JXA-8230電子探針的結(jié)構(gòu)：
 

　　JXA-8230電子探針X射線顯微分析儀利用約1Pm的細(xì)焦電子束，在樣品表層微區(qū)內(nèi)激發(fā)元素的特征X射線，根據(jù)特征X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度，進(jìn)行微區(qū)化學(xué)成分定性或定量分析。電子探針的光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等部分與掃描電鏡基本相同，通常也配有二次電子和背散射電子信號(hào)檢測(cè)器，同時(shí)兼有組織形貌和微區(qū)成分分析兩方面的功能。電子探針的構(gòu)成除了與掃描電鏡結(jié)構(gòu)相似的主機(jī)系統(tǒng)以外，還主要包括分光系統(tǒng)、檢測(cè)系統(tǒng)等部分。
 

　　JXA-8230電子探針主要由電子光學(xué)系統(tǒng)，X射線譜儀和信息記錄顯示系統(tǒng)組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)造基本相同，它們常常組合成單一的儀器。
 

　　JXA-8230電子探針的優(yōu)點(diǎn)：
 

　　1、能進(jìn)行微區(qū)分析：可分析數(shù)個(gè)μm3內(nèi)元素的成分。
 

　　2、能進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)分析：無需把分析對(duì)象從樣品中取出，可直接對(duì)大塊試樣中的微小區(qū)域進(jìn)行分析。把電子顯微鏡和電子探針結(jié)合，可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來。
 

　　3、分析范圍廣：Z>4其中，波譜：Be—U，能譜：Na—U。

　　JXA-8230電子探針的功能及特色：
 

　　電子探針可以對(duì)試樣中微小區(qū)域的化學(xué)組成進(jìn)行定性或定量分析。可以進(jìn)行點(diǎn)、線掃描、面掃描分析。還能全自動(dòng)進(jìn)行批量定量分析。由于電子探針技術(shù)具有操作迅速簡(jiǎn)便、實(shí)驗(yàn)結(jié)果的解釋直截了當(dāng)、分析過程不損壞樣品、測(cè)量準(zhǔn)確度較高等優(yōu)點(diǎn)，故在冶金、地質(zhì)、電子材料、生物、醫(yī)學(xué)、考古以及其它領(lǐng)域中得到日益廣泛地應(yīng)用，是礦物測(cè)試分析和樣品成分分析的重要工具。