在半導體制造對工藝精度與系統(tǒng)可靠性日益嚴苛的背景下，梅特勒托利多聚焦于為專業(yè)集成商提供模塊化實驗室儀器的在線靈活集成、廠務(wù)化學品供給系統(tǒng)（CDS）、以及高精度稱重應用的定制化整合方案。

更多解決方案

ALT：半導體集成

模塊化配置的實驗室儀器靈活適配在線集成

相較于傳統(tǒng)的離線檢測方式，在線檢測通過將采樣、分析與補液控制深度集成，構(gòu)建了一套快速響應、高度自動化的智能解決方案。隨著先進制程對濕化學品（如混酸、清洗液）及研磨液（Slurry）等關(guān)鍵材料的成分穩(wěn)定性要求持續(xù)提升，對檢測精度也提出了更高標準。傳統(tǒng)依賴標準曲線的離線方法在精度和時效性方面已難以滿足當前Fab廠務(wù)端的實時監(jiān)控需求，因此，在線滴定技術(shù)已成為濕化學品過程控制的行業(yè)標配。

ALT：LabX

梅特勒托利多實驗室電位滴定儀采用模塊化架構(gòu)，整機體積緊湊，支持靈活配置滴定單元、電極類型及通信接口，可無縫嵌入系統(tǒng)集成商自主開發(fā)的智能化平臺。其設(shè)計兼顧高可靠性與易維護性，顯著降低系統(tǒng)集成復雜度與現(xiàn)場部署風險。該儀器具備高達±0.001%的濃度檢測精度，適用于包括混酸、清洗液及Slurry在內(nèi)的多種復雜化學體系，并能在單次滴定過程中同步解析多個組分含量。

針對不同應用場景，梅特勒托利多提供多款標準電位滴定儀機型，并配套專業(yè)的應用方案建議。用戶可根據(jù)具體測試體系，選配不同口徑的定制化滴定杯、高選擇性電極以及適配的泵閥組合。此外，公司可提供通信支持、安裝指導手冊等標準化技術(shù)支持服務(wù)，全面助力系統(tǒng)集成效率提升與項目落地加速。

半導體稱重應用集成

單晶硅/硅片稱重

單晶硅直拉法制備工藝是通過加熱放置于坩堝內(nèi)的多晶硅原料使其成為溶液，并通過安置在爐體上方的籽晶軸，使得單晶晶種能與硅溶液進行接觸。通過籽晶軸轉(zhuǎn)動和上下移動，硅液會沿著籽晶表面凝結(jié)和生長，最終形成單晶錠。在晶棒生產(chǎn)過程中，梅特勒托利多拉式稱重傳感器能有效解決拉晶爐晶棒稱重，連續(xù)供料稱重以及晶棒切片廢料計量。確保晶棒規(guī)整度，減少浪費。

ALT：單晶硅稱重

濕電子化學品行業(yè)稱重

濕電子化學品（如研磨液、蝕刻液、清洗液、拋光液等）在生產(chǎn)和使用過程中的化學品提純、配料和稀釋場合，經(jīng)常需要準確地進行各種物料的配比，尤其是微量物料的添加，借助高精度天平和數(shù)字智能稱重模塊可以更好地控制產(chǎn)品質(zhì)量，進一步提高生產(chǎn)效率，還能確保企業(yè)經(jīng)營的合規(guī)性。

濕電子化學品通常使用的場合需要防爆和防腐，梅特勒托利多提供多種類型的防爆防腐稱重方案，減少風險和提升設(shè)備使用壽命，讓您安心生產(chǎn)。

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電子氣體稱重

電子氣體純度和濃度直接決定了最終芯片的良率和可靠性。精準穩(wěn)定的計量可以確保企業(yè)順利實現(xiàn)降本增效的目標。不論是罐裝、混配、余量監(jiān)測等工藝環(huán)節(jié)，梅特勒托利多氣體稱重解決方案可以確保高精度、防爆、抗蠕變、長期穩(wěn)定的計量。

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