電子氣在線色譜分析儀通過連續(xù)監(jiān)測和自動分析，針對不同待測組分或不同應用場景分析需求，可靈活配置不同的樣品預處理(濃縮/不濃縮)、檢測器種類及數量、色譜柱、閥切換方式等，能夠實現(xiàn)對電子氣等工業(yè)氣體的24小時/7天不間斷定性和定量分析，為生產過程提供實時、準確的數據支持。

儀器采用模塊化設計，針對不同電子氣需要分析的不同組分進行定制，靈活配置分析方案，進行24小時/7天連續(xù)定性和定量分析，分析檢測限可達ppt級。

經過在線除塵、除水、富集聚焦等不同預處理后，樣品由載氣帶入專用分析色譜柱進行分離，分離后的組分依次進入檢測器進行檢測，內置的工作軟件自動完成數據采集、分析、處理、存儲和傳輸。

應用場景：

半導體制造
監(jiān)測高純氬氣（Ar）、氮氣（N?）中的O?、H?O、CO等雜質，防止晶圓氧化或污染。
實時調整純化系統(tǒng)參數，確保氣體純度≥99.9999%。
光伏產業(yè)
分析硅烷（SiH?）、氨氣（NH?）等工藝氣體中的雜質，優(yōu)化CVD沉積過程。
檢測氣體泄漏，避免爆炸風險。
LED照明
監(jiān)控MOCVD設備中使用的三甲基鎵（TMGa）、砷化氫（AsH?）等氣體的純度。
確保外延層質量，提高LED發(fā)光效率。
電子特氣生產
在線檢測氯氣（Cl?）、氟化氫（HF）等電子特氣的純度，滿足集成電路制造需求。
實時反饋純化效果，調整工藝參數。

賽默飛應用專家可以根據需求定制應用系統(tǒng)方案，實現(xiàn)自動采樣、分析、數據處理及校準功能，實現(xiàn)全自動化分析。