薄膜制備*

BlueWave是家著名的美國半導(dǎo)體設(shè)備、材料生產(chǎn)商。BlueWave提供多種薄膜制備系統(tǒng)，包括脈沖激光沉積(PLD)、電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)、反應(yīng)濺射、熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD)、熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(TCVD)。這些系統(tǒng)是理想的薄膜與涂層合成設(shè)備。可制備的薄膜包括氮化物、氧化物、多層膜、鉆石、石墨烯、碳納米管、2D材料。Blue Wave還提供相關(guān)系統(tǒng)配件，例如基片加熱裝置、原位監(jiān)測工具。此外，BlueWave還為您提供標準的薄膜以及材料涂層，例如氧化物涂層、導(dǎo)電薄膜、無定型或納米晶Si/SiC、晶體AlN-GaN、聚合物、納米鉆石、HFCVD鉆石涂層以及器件加工。

1、脈沖激光沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品點：

2、物理氣相沉積系統(tǒng)（Physical Vapor Deposition Plus）

產(chǎn)品點 •超高真空不銹鋼腔體 •電子束、熱蒸發(fā)、脈沖激光沉積可集成 •立襯底加熱，可旋轉(zhuǎn) •多量程氣體流量控制器 •標準氣壓計

•機械、分子、冷凝真空泵 可選不銹鋼快速進樣室 •襯底和源距離可控 •可用于金屬氧化物、氮化物、碳化物、金屬薄膜

3、熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（TCVD）

4、熱絲化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（HFCVD）

產(chǎn)品點： •水冷不銹鋼超高真空腔 •熱絲易安裝、更換  •4個不同量程氣體控制器 •標準氣壓計 •襯底與熱絲距離可調(diào)節(jié) •2英寸襯底加熱、可旋轉(zhuǎn)  •*制備金剛石和石墨烯

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