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一、產(chǎn)品概述

BAZ 系列是美幸輝主打數(shù)字檔位定點(diǎn)開(kāi)度控制的伺服型真空蝶閥，需搭配原廠MS-PC 定點(diǎn)控制器成套使用，支持 00~99 檔精準(zhǔn)開(kāi)度設(shè)定，專(zhuān)門(mén)用于真空腔體階梯破真空、微量進(jìn)氣、精密穩(wěn)壓、流量分段調(diào)節(jié)，憑借低發(fā)塵、超低泄漏、斷電保位特性，廣泛應(yīng)用于高真空潔凈工藝場(chǎng)景。

特點(diǎn)

01. 具有優(yōu)異排氣特性的門(mén)閥。

兼容02.80A~150A的直徑。

03. 帶有絕對(duì)傳感器的起源記憶。

04. 安裝姿勢(shì)向所有方向自由。

05. 開(kāi)合時(shí)以超低噪聲運(yùn)行。

06. 得益于不銹鋼磨料，低氣體排放。
氦檢設(shè)備MIYUKI 電動(dòng)數(shù)字定點(diǎn)真空蝶閥 BAZ-J100
氦檢設(shè)備MIYUKI 電動(dòng)數(shù)字定點(diǎn)真空蝶閥 BAZ-J100

規(guī)格

口徑80A ~ 150A

工作壓力范圍105 Pa ~ 10-6 Pa

泄漏量：

內(nèi)部密封（閥門(mén)）1X10-10 Pa·M3/s 下文

外部

密封（軸）泄漏量1X10-10 Pa·M3/s 下文

氣體接觸材料SUS304

閥門(mén)密封氟橡膠O型圈

軸密封氟橡膠O型圈

耐熱溫度主單元溫度：150°C

馬達(dá)：40°C

停電時(shí)閥門(mén)的工作保持當(dāng)前位置

二、核心技術(shù)參數(shù)

1. 真空密封性能

工作壓力范圍：常壓（10?Pa）~ 1×10??Pa（中高真空）

閥體內(nèi)部泄漏：≤1×10?? Pa?m3/s

閥桿軸封外泄漏：≤1×10?1? Pa?m3/s，滿足高真空檢漏要求

2. 材質(zhì)與耐溫

過(guò)流部件：閥體、蝶板 SUS304 不銹鋼

密封件：FKM 氟橡膠 O 型圈（可選全氟醚 FFKM）

使用溫度：閥體最高 150℃；伺服電機(jī)工作溫度≤40℃

適用介質(zhì)：氮?dú)?、氬氣、干燥工藝惰性氣體

3. 驅(qū)動(dòng)核心優(yōu)勢(shì)

伺服電機(jī)直驅(qū)無(wú)間隙結(jié)構(gòu)，無(wú)齒輪背隙、無(wú)金屬滑動(dòng)摩擦，潔凈低發(fā)塵、運(yùn)行*，適配無(wú)塵車(chē)間

內(nèi)置絕對(duì)式原點(diǎn)記憶傳感器，斷電重啟無(wú)需回零校準(zhǔn)，閥位重復(fù)精度極-高

電磁斷電抱閘設(shè)計(jì)：突發(fā)停電自動(dòng)鎖死當(dāng)前閥門(mén)開(kāi)度，防止腔體泄壓、工藝報(bào)廢

支持手動(dòng)應(yīng)急閥位調(diào)節(jié)，設(shè)備檢修安全可靠

三、MS-PC 定點(diǎn)控制器（標(biāo)配）

控制方式

本地面板控制：二位撥碼設(shè)定 00（全關(guān)）~99（全開(kāi)）檔位，按鍵執(zhí)行閥位定位，自帶閥位狀態(tài)指示燈

PLC 遠(yuǎn)程自動(dòng)化控制：8 位二進(jìn)制編碼遠(yuǎn)程下發(fā)開(kāi)度指令 + 無(wú)源觸點(diǎn)開(kāi)關(guān)信號(hào)，可接入上位機(jī)批量工藝聯(lián)動(dòng)控制

控制特點(diǎn)

開(kāi)度調(diào)節(jié)線性穩(wěn)定，微小節(jié)流狀態(tài)下腔體壓力無(wú)波動(dòng)漂移

支持階梯式緩慢進(jìn)氣，避免薄膜濺射、光學(xué)鍍膜時(shí)材料氧化產(chǎn)生針孔缺陷

五、典型應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體：PVD/CVD、離子注入、刻蝕設(shè)備工藝穩(wěn)壓、分段進(jìn)氣

光學(xué) / 裝飾真空鍍膜：磁控濺射、電子束蒸鍍階梯破真空控制

科研實(shí)驗(yàn)室：表面分析儀器（XPS/AES）、氦檢設(shè)備、真空熱處理爐

新能源：鋰電池真空注液、真空釬焊、光伏鍍膜設(shè)備管路流量調(diào)節(jié)

六、同系列產(chǎn)品區(qū)分

BAZ 系列（數(shù)字定點(diǎn)）：00-99 檔位定點(diǎn)控制，搭配 MS-PC，適合分段工藝、固定開(kāi)度工況

BAR 系列（模擬無(wú)級(jí)）：0-10V 連續(xù)線性調(diào)節(jié)，搭配 MS-VP，適合閉環(huán)動(dòng)態(tài)精密穩(wěn)壓場(chǎng)景