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超大口徑濺射適配低溫泵 ULVAC 愛發(fā)科 CRYO-U22P

超大口徑濺射適配低溫泵 ULVAC 愛發(fā)科 CRYO-U22P

設(shè)備規(guī)格參數(shù)詳情

CRYO-U22P 低溫泵采用一體化立式筒式整機結(jié)構(gòu)，整機尺寸面向大尺寸半導(dǎo)體晶圓、高世代顯示面板、大面積光學(xué)基板大型濺射腔體配套開發(fā)，吸氣口標配 UVG550 超大口徑標準真空法蘭，法蘭規(guī)格標準化，可直接對接同規(guī)格真空管路腔體，無需額外定制轉(zhuǎn)接配件，同系列設(shè)備可直接互換升級，減少產(chǎn)線改造工時。內(nèi)部搭載適配高氬氣負荷工況的大功率強化雙級 GM 制冷機芯，搭配雙通道獨立高精度溫度監(jiān)測模組，可分別采集 80K 屏蔽筒與 15K 低溫吸附板實時溫度，完整直觀呈現(xiàn)整機制冷運行工況，便于操作人員實時監(jiān)控設(shè)備制冷狀態(tài)，提前預(yù)判吸附飽和節(jié)點。配套原廠 C30PVRT 大功率分體式制冷壓縮機，柔性金屬連接管路適配廠房大范圍設(shè)備擺放間距，多泵并聯(lián)布局時管路排布靈活，不受產(chǎn)線層高、工位間距約束。整機適配通用工業(yè)供電標準，內(nèi)部電氣組件增設(shè)多層絕緣防護結(jié)構(gòu)，運行功率長期維持平穩(wěn)區(qū)間，不存在瞬時功率大幅波動現(xiàn)象。設(shè)備空載降溫至標準工作低溫區(qū)間區(qū)分 50Hz、60Hz 供電工況，冷卻時長標準化可控，單次再生流程支持手動、自動兩種操作模式，流程規(guī)范統(tǒng)一。內(nèi)部吸附腔體容積大幅擴容，氬氣總存儲容量可達 5.8×10?Pa?L，氬氣最大耐受流量 1.7×103Pa?L/s，氫氣耐受流量同步提升，標準抽速參數(shù)穩(wěn)定，氮氣 11500L/s、氫氣 14000L/s、氬氣 9700L/s、水汽 39000L/s，極限真空可達 10??Pa 級別，可支撐超長時間不間斷真空作業(yè)。整機自重 115kg，外殼選用耐腐蝕金屬材質(zhì)，適配潔凈量產(chǎn)車間與恒溫科研實驗室環(huán)境，出廠配備全套標準化固定安裝支撐配件，可選配套移動支撐底座簡化吊裝轉(zhuǎn)運，無需單獨采購輔助固定構(gòu)件，多機組并聯(lián)運行可進一步提升超大腔體整體抽氣效率，適配多工位超大容積濺射沉積設(shè)備配套使用。

核心結(jié)構(gòu)與性能特點詳情

該款低溫泵以兩段式 GM 閉環(huán)大功率制冷架構(gòu)作為核心實現(xiàn)氣體冷凝吸附作業(yè)，設(shè)備內(nèi)部設(shè)置分層兩級低溫吸附結(jié)構(gòu)，一級 80K 屏蔽筒優(yōu)先捕捉水汽、大分子雜質(zhì)，依靠 39000L/s 超高水汽抽速快速清除腔體內(nèi)部水汽殘留，避免水汽雜質(zhì)干擾薄膜均勻成型質(zhì)量；二級 15K 低溫板搭配加厚專用吸附層，針對濺射工藝高頻使用的氬氣、氫氣、氮氣分層捕獲，整套抽氣流程全程不使用潤滑油脂，從根源杜絕油蒸汽返流污染真空腔體，滿足大尺寸晶圓、高世代顯示基板鍍膜對真空潔凈度的嚴苛標準。機型針對濺射持續(xù)通入氬氣的高負荷量產(chǎn)工況重構(gòu)內(nèi)部氣流通道與吸附倉結(jié)構(gòu)，優(yōu)化氣體流通路徑，提升氬氣持續(xù)流通耐受上限，同步強化氫氣吸附容納能力，適配反應(yīng)濺射、含氫介質(zhì)薄膜沉積等特殊制程，即便長時間持續(xù)釋放工藝氣體，也能穩(wěn)定維持標準抽氣速率，有效拉長兩次再生操作的間隔時長，一萬六千小時標準維護周期大幅減少停機維護頻次，降低量產(chǎn)中斷帶來的產(chǎn)能損耗。機身在保留超大容量吸附倉的同時完成輕量化緊湊優(yōu)化，摒棄傳統(tǒng)超大抽速低溫泵厚重笨重框架結(jié)構(gòu)，整機自重控制在合理區(qū)間，可實現(xiàn)豎直、傾斜、倒置等多種非常規(guī)姿態(tài)安裝，不受濺射腔體外形、腔體擺放高度與自動化產(chǎn)線布局約束。設(shè)備運行階段壓縮機產(chǎn)生的振動經(jīng)由多層緩沖結(jié)構(gòu)充分衰減，傳遞至泵體的振動幅度極低，整機運行噪音維持低位區(qū)間，不會干擾車間膜厚檢測、光學(xué)均勻度測量等高精度儀器正常工作。雙通道溫控組件不間斷監(jiān)測兩級冷頭溫度，溫度出現(xiàn)異常波動時可直觀反饋設(shè)備工況，方便操作人員合理規(guī)劃再生停機時間。機身內(nèi)部零部件采用模塊化規(guī)整排布，僅拆除外部防護護罩即可接觸全部核心組件，清潔、檢修整體操作步驟精簡，降低現(xiàn)場操作人員作業(yè)門檻，多泵并聯(lián)運行模式還可分攤單臺設(shè)備氣體負載，進一步延長整機長期使用壽命。

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