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是一家主要從事流體輸送設備、加藥系統(tǒng)、水質檢測分析及真空設備銷售與維護的企業(yè)，主要經營以下產品：氣動隔膜泵、加藥計量泵、粘度計、流量計、在線水質分析儀表以及各類真空泵類、檢漏設備等；產品*，價格公道。我司所提供的產品廣泛應用在水處理、化工、涂料、食品、制藥、金屬加工及半導體等行業(yè)，公司擁有專業(yè)的售后服務人員及檢測設備，為用戶長期提供各類設備的檢測、保養(yǎng)、維修服務。
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標準大口徑通用低溫泵 ULVAC 愛發(fā)科產品參數(shù)
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 生物產業(yè),石油,能源,電子/電池,電氣 |
標準大口徑通用低溫泵 ULVAC 愛發(fā)科詳細信息
標準大口徑通用低溫泵 ULVAC 愛發(fā)科 CRYO-U20H
標準大口徑通用低溫泵 ULVAC 愛發(fā)科 CRYO-U20H
設備規(guī)格參數(shù)詳情
CRYO-U20H 低溫泵采用一體化立式筒式整機結構，整機尺寸面向半導體大尺寸晶圓、高世代顯示面板、大型光學鍍膜腔體等通用真空設備配套定型，吸氣口配備 UVG500 標準法蘭，同步兼容 20B ANSI、ISO-500 法蘭規(guī)格，可直接對接同規(guī)格真空管路腔體，無需額外定制轉接配件，通用法蘭設計便于產線設備替換升級。內部搭載標準強化雙級 GM 制冷機芯，搭配雙通道獨立高精度溫度監(jiān)測模組，可分別采集 80K 屏蔽筒與 15K 低溫吸附板實時溫度，完整直觀反饋整機制冷運行工況，方便操作人員實時監(jiān)控設備制冷狀態(tài)。配套原廠大功率分體式制冷壓縮機，柔性金屬連接管路適配廠房大范圍設備擺放間距，多泵并聯(lián)布局時管路排布靈活，不受產線層高、工位間距約束。整機適配通用工業(yè)供電標準，內部電氣組件增設多層絕緣防護結構，運行功率長期維持平穩(wěn)區(qū)間，不存在瞬時功率大幅波動現(xiàn)象。設備空載降溫至標準工作低溫區(qū)間分 50Hz、60Hz 兩種工況，冷卻時長分別為 160 分鐘、140 分鐘，單次再生流程支持手動、自動兩種模式，操作流程標準化，再生耗時穩(wěn)定可控。內部吸附腔體容積大幅擴容，氬氣總存儲容量可達 5.8×10?Pa?L，氫氣存儲容量 4.6×10?Pa?L，氬氣最大耐受流量 1.7×103Pa?L/s，氫氣耐受流量 5.0×102Pa?L/s，標準抽速參數(shù)穩(wěn)定，氮氣 10000L/s、氫氣 18000L/s、氬氣 8400L/s、水汽 29000L/s，極限真空可達 10??Pa，可支撐長時間不間斷真空作業(yè)。整機外殼選用耐腐蝕金屬材質，適配潔凈量產車間與恒溫科研實驗室環(huán)境，出廠配備全套標準化固定安裝支撐配件，無需單獨采購輔助固定構件，多機組并聯(lián)運行可進一步提升大型腔體整體抽氣效率，適配多工位超大容積通用真空設備配套使用。
核心結構與性能特點詳情
該款低溫泵以兩段式 GM 閉環(huán)標準制冷架構作為核心實現(xiàn)氣體冷凝吸附作業(yè)，設備內部設置分層兩級低溫吸附結構，一級 80K 屏蔽筒優(yōu)先捕捉水汽、大分子雜質，依靠超大水汽抽速快速清除腔體內部水汽殘留，避免水汽雜質干擾各類薄膜成型質量；二級 15K 低溫板搭配加厚活性炭吸附層，針對氮氣、氬氣、氫氣、水汽等各類工藝氣體分層捕獲，整套抽氣流程全程不使用潤滑油脂，從根源杜絕油蒸汽返流污染真空腔體，滿足晶圓、顯示基板、光學元件鍍膜對真空潔凈度的通用嚴苛標準。機型面向全品類通用真空工藝優(yōu)化換熱結構，耐熱負荷能力均衡穩(wěn)定，能夠適配通入各類工藝氣體的連續(xù)量產工況，長時間持續(xù)運行不會出現(xiàn)抽速衰減問題，兼顧濺射、蒸鍍、刻蝕、真空熱處理等多類制程使用需求。機身在保留超大容量吸附倉的同時完成輕量化緊湊優(yōu)化，摒棄傳統(tǒng)超大抽速低溫泵厚重笨重框架結構，整機自重控制在合理區(qū)間，可實現(xiàn)豎直、傾斜、倒置等多種非常規(guī)姿態(tài)安裝，不受真空腔體外形、腔體擺放高度與自動化產線布局約束。設備運行階段壓縮機產生的振動經由多層緩沖結構充分衰減，傳遞至泵體的振動幅度極低，整機運行噪音維持低位區(qū)間，不會干擾車間膜厚檢測、光學均勻度測量等高精度儀器正常工作。雙通道溫控組件不間斷監(jiān)測兩級冷頭溫度，溫度出現(xiàn)異常波動時可直觀反饋設備工況，方便操作人員提前預判吸附飽和節(jié)點，合理規(guī)劃再生停機時間。大容量吸附腔體有效拉長兩次再生操作的間隔時長，大幅減少停機維護頻次，降低連續(xù)量產產線中斷帶來的產能損耗。機身內部零部件采用模塊化規(guī)整排布，僅拆除外部防護護罩即可接觸全部核心組件，清潔、檢修整體操作步驟精簡，降低現(xiàn)場操作人員作業(yè)門檻，多泵并聯(lián)運行模式還可分攤單臺設備氣體負載，進一步延長整機長期使用壽命。
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