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SURUGASEIKI（駿河精機(jī)株式會(huì)社）創(chuàng)立于1964年，本社位于日本靜岡縣。主要實(shí)業(yè)內(nèi)容：電氣、電子、通信和工業(yè)用機(jī)械、設(shè)備的開發(fā)、制造和銷售；影像及光學(xué)儀器的開發(fā)、制造及銷售；工業(yè)機(jī)械用零部件的開發(fā)、制造和銷售等
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駿河精機(jī) 自動(dòng)舞臺(tái) 自動(dòng)線性 X 軸平臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)
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駿河精機(jī) 自動(dòng)舞臺(tái) 自動(dòng)線性 X 軸平臺(tái)詳細(xì)信息
駿河精機(jī) 自動(dòng)舞臺(tái) 自動(dòng)線性 X 軸平臺(tái)
駿河精機(jī) 自動(dòng)舞臺(tái) 自動(dòng)線性 X 軸平臺(tái)
精度與定位性能
精度梯度全覆蓋：經(jīng)濟(jì)型 ±1μm、精密型 ±0.5μm、閉環(huán)伺服亞微米、直線電機(jī)達(dá)亞納米級(jí)
最小運(yùn)動(dòng)分辨率 0.05μm，微步分割可達(dá) 0.1μm / 脈沖，微量進(jìn)給無卡頓
單向定位精度最高≤3μm，全行程線性度誤差極低，長(zhǎng)行程無漂移
重復(fù)定位精度標(biāo)準(zhǔn) ±0.2μm，氣浮 / 壓電平臺(tái)可達(dá) ±0.01μm 級(jí)
自研雙螺母預(yù)緊滾珠絲杠，反向間隙≤1μm，換向無滯后背隙誤差
哥特式四點(diǎn)接觸交叉滾柱導(dǎo)軌，四點(diǎn)受力，俯仰 / 偏擺角誤差極小
低速 0.1μm 微移動(dòng)無爬行抖動(dòng)，連續(xù)數(shù)千小時(shí)精度不衰減
氣浮平臺(tái)無機(jī)械摩擦，零磨損、無振動(dòng)、無滯后，適配超高純晶圓檢測(cè)
壓電驅(qū)動(dòng)平臺(tái)毫秒級(jí)高速納米微調(diào)，適配硅光、光纖波導(dǎo)耦合對(duì)位
高分辨率磁 / 光學(xué)編碼器閉環(huán)反饋，實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、負(fù)載形變誤差
全行程三段式激光干涉校準(zhǔn)，起點(diǎn) / 中點(diǎn) / 終點(diǎn)逐段記錄精度，附帶原廠檢測(cè)證書
多軸堆疊正交誤差出廠校準(zhǔn)，XYZ 多軸垂直度偏差控制至角秒級(jí)
角度臺(tái)（測(cè)角臺(tái) / 弧度臺(tái)）角度分辨率 0.001°，回轉(zhuǎn)跳動(dòng)極小
自動(dòng)調(diào)芯 EW 系列，對(duì)位分辨率 10nm，適配硅光子芯片光波導(dǎo)耦合
長(zhǎng)行程滑臺(tái)冷熱循環(huán)精度穩(wěn)定，溫差環(huán)境形變抑制工藝成熟
垂直安裝工況負(fù)載定位無下沉，斷電剎車鎖定精度不變
高速啟停無過沖、無震蕩，自研運(yùn)動(dòng)曲線平滑算法
負(fù)載重心偏移自動(dòng)補(bǔ)償，多軸堆疊姿態(tài)誤差抑制技術(shù)成熟
球面微調(diào)臺(tái)傾斜微調(diào)角秒級(jí)，光學(xué)光路校準(zhǔn)專用
非接觸激光自準(zhǔn)直 Smart LAC 系列，瞬間完成姿態(tài)測(cè)量，行業(yè)最小體積
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