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TAIKOKIKAIINDUSTRIESCO.,LTD.（大晃機械工業(yè)株式會社）成立于1956年，總部位于東京，專注于流體機械設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)，主要產(chǎn)品包括螺桿泵、蛇形泵、齒輪泵、離心泵、真空泵、油水分離器及鼓風(fēng)機等。?其真空泵產(chǎn)品以干式螺桿式為主，涵蓋多個系列，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶、太陽能電池、醫(yī)藥、化工等領(lǐng)域。
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進口TAIKO大晃RMC系列羅茨機械增壓泵產(chǎn)品參數(shù)
| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
進口TAIKO大晃RMC系列羅茨機械增壓泵詳細信息
進口TAIKO大晃RMC系列羅茨機械增壓泵
進口TAIKO大晃RMC系列羅茨機械增壓泵
大晃 Taiko RMC 系列（羅茨機械增壓泵 / 干泵機組）
定位：中高真空、大流量、前端增壓，是羅茨泵 + 螺桿干泵的集成機組，專門給 TDP/BEH 做前級增壓，抽速3,500～20,000 L/min，極限真空0.1 Pa，比單螺桿泵抽得更快、真空更高。
一、核心定位與原理
全稱：Roots Mechanical Booster = 羅茨機械增壓器（不能單獨用，必須配大晃 TDP/BEH 干泵做前級）
結(jié)構(gòu)：羅茨轉(zhuǎn)子（增壓段）+ 螺桿干泵（前級段） 直聯(lián)集成，PLC 聯(lián)動控制
作用：大幅提升抽速 + 提高極限真空 + 降低前級泵功耗，適合中高真空制程
二、核心型號與參數(shù)（2026，原裝水冷，50/60Hz）
| 型號 | 抽速 L/min (50/60Hz) | 極限真空 Pa | 電機功率 kW（羅茨 + 干泵） | 重量 kg | 適配前級 |
|---|---|---|---|---|---|
| RMC-3500 | 3,500/4,200 | ≤0.1 | 5.5+2.2 | 550 | TDP-3000 |
| RMC-6000 | 6,000/7,200 | ≤0.1 | 7.5+3.7 | 850 | TDP-6000/BEH-7000 |
| RMC-10000 | 10,000/12,000 | ≤0.1 | 15+5.5 | 1,300 | BEH-12000 |
| RMC-20000 | 20,000/24,000 | ≤0.1 | 30+11 | 2,100 | BEH-24000/30000 |
轉(zhuǎn)子：大晃蜂后螺桿（Queen Bee Screw），非接觸、低磨損、耐粉塵
轉(zhuǎn)速：羅茨 1500/1800 rpm + 螺桿 3000/3600 rpm，低速低噪
材質(zhì)：球墨鑄鐵 + 耐腐蝕涂層，可選 316 不銹鋼腔體
控制：智能 PLC + 觸摸屏，聯(lián)動啟停、過載保護、氮氣吹掃接口
RMC vs TDP vs BEH vs TRIC 定位
| 系列 | 類型 | 抽速 L/min | 極限真空 Pa | 適用場景 |
|---|---|---|---|---|
| TDP | 單級螺桿干泵 | 3,000～12,000 | 0.13 | 通用、中真空、低成本 |
| RMC | 羅茨 + 螺桿增壓機組 | 3,500～20,000 | 0.1 | 中高真空、大流量、前端增壓 |
| BEH | 螺桿 + 羅茨集成干泵 | 7,000～30,000 | 0.08 | **半導(dǎo)體、FPD、大流量高真空 |
| TRIC | 大型螺桿 + 羅茨機組 | 30,000～60,000 | 0.08 | 超大腔體、半導(dǎo)體 / 光伏整線 |
芯片 / 半導(dǎo)體核心應(yīng)用場景
刻蝕（Etching）：RMC-10000/20000 + BEH，快速抽氣 + 高真空，減少腔室等待時間
CVD/PVD 薄膜沉積：RMC-6000/10000 + TDP/BEH，穩(wěn)定 0.1 Pa 級真空，膜層均勻
離子注入：RMC-20000 + BEH-30000，大流量排氣 + 低粉塵殘留
晶圓脫氣 / 退火：RMC-3500/6000 + TDP，高效脫氣 + 低能耗
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