化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
是一家主要從事流體輸送設備、加藥系統(tǒng)、水質檢測分析及真空設備銷售與維護的企業(yè)，主要經營以下產品：氣動隔膜泵、加藥計量泵、粘度計、流量計、在線水質分析儀表以及各類真空泵類、檢漏設備等；產品*，價格公道。我司所提供的產品廣泛應用在水處理、化工、涂料、食品、制藥、金屬加工及半導體等行業(yè)，公司擁有專業(yè)的售后服務人員及檢測設備，為用戶長期提供各類設備的檢測、保養(yǎng)、維修服務。
查看更多產品簡介
ULVAC/日本愛發(fā)科小型真空沉積裝置產品參數
| 應用領域 | 生物產業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件,綜合 |
ULVAC/日本愛發(fā)科小型真空沉積裝置詳細信息
ULVAC/日本愛發(fā)科小型真空沉積裝置，型號：VTR-060M/ERH
ULVAC/日本愛發(fā)科小型真空沉積裝置，型號：VTR-060M/ERH
薄膜形成裝置是一種在硅晶圓等基板上形成薄膜的裝置。
Albac 的緊湊型實驗室薄膜沉積設備提供高精度薄膜成型技術，非常適合研發(fā)和小規(guī)模生產。 其緊湊的設計使得即使在有限空間內也能高效使用。
氣相沉積是一種將金屬或氧化物等物質汽化并沉積在基板表面以形成薄膜的技術。
在氣相沉積過程中，目標材料首先在真空腔室內通過電阻加熱、電子束加熱或激光加熱等方法進行加熱和蒸發(fā)。蒸汽通過真空向基板移動，在真空環(huán)境中擴散最小化，然后到達基板表面，冷凝形成具有均勻且高質量特性的薄膜。
規(guī)格
| 模型 | VTR-060M/ERH | |
| 真空性能 | 到達壓力 | 10-4平臺（真空層內無負載清洗）： 1.5×10-3PA（可選規(guī)范） |
| 排氣時間 | 4.0×10-3Pa/20分鐘（真空室內無負載清潔） | |
| 真空室 | 真空室 | 圓柱形玻璃腔體（Φ236mm×H250mm） |
| 底板 | 7個端口（底部） | |
| 棋盤尺寸與最大尺寸 | □ 25毫米· □50毫米（最大） | |
| 電源系統(tǒng) | 蒸汽發(fā)生器配置 | 1點 |
| 蒸發(fā)動力源與數量 | SEREM/PSE-150C - 一組 0~10V 80A（最大功率） | |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵 | 渦輪分子泵（風冷）60升/秒 |
| 輔助泵 | 油轉真空泵 20升/分鐘 | |
| 油霧陷阱 | OMT-050A | |
| 操作系統(tǒng) | 主閥 | 選項（蝶閥） |
| 輔助閥 | 可選（三通閥） | |
| 自動泄漏閥 | 選件（電磁閥） | |
| 真空室通風閥 | 選項（泄漏口） | |
| 運營 | 手動擋 | |
| 控制系統(tǒng) | 真空計 | Options（ISG1） |
| 膠片厚度計 | 選項（CRTM-6000G） | |
| 背景設定 | 最大尺寸主體 | 428毫米（寬）×438毫米（深）×713毫米（高） |
| 電源 | 480毫米（寬）×435.3毫米（深）×149毫米（高） | |
| 質量：主體 | 50公斤 | |
| 電源 | 24公斤 | |
實用性
| 模型 | VTR-060M/ERH | |
| 所需時間 | 主體 | 100伏單相50/60Hz 0.6kVA |
| 電源 | 100V 單相 50/60Hz 0.8kVA | |
| 競爭 | 主單元：1Φ 100V | 帶插頭的乙烯基Captire線纜4米 |
| 電源：1Φ 200V | 帶插頭的乙烯基Captire線纜4米 | |
* 請準備兩個地面電源插座
尺寸圖
VTR-060M/ERH
蒸發(fā)動力源 SEREM
真空室內部結構
基本結構
關聯品牌
留言咨詢
內容聲明：
您訪問的ULVAC/日本愛發(fā)科小型真空沉積裝置產品信息，由宮崎科技（廈門）有限公司自行發(fā)布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于ULVAC/日本愛發(fā)科小型真空沉積裝置型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布會員負責，為保障安全，建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量！
該廠商其他產品
Other Products
采購中心
用戶評論
發(fā)布評論