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　　一、 產(chǎn)品概述

　　本產(chǎn)品專為微反應(yīng)、微泄露及精密配氣場(chǎng)景而設(shè)計(jì)，是一款基于層流壓差原理與MEMS熱式原理雙技術(shù)路線并行的微小量程氣體質(zhì)量流量計(jì)。

　　區(qū)別于傳統(tǒng)大流量計(jì)，本系列產(chǎn)品聚焦于低雷諾數(shù)流場(chǎng)的精準(zhǔn)捕捉，解決了極低流速下傳感器信噪比低、零點(diǎn)易漂移的行業(yè)痛點(diǎn)。其滿量程可定制至0~5 SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘），能夠穩(wěn)定分辨每分鐘數(shù)毫升的微小氣體增量，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體蝕刻、環(huán)保監(jiān)測(cè)及生物發(fā)酵等制造領(lǐng)域。

　　二、 核心技術(shù)突破

　　1. 微流道層流穩(wěn)壓技術(shù)

　　針對(duì)微小流量湍流難以形成的問題，產(chǎn)品內(nèi)置微孔蜂巢狀層流元件。通過強(qiáng)制整流，將入口處的紊流在極短流道內(nèi)發(fā)展為發(fā)展層流，使得體積流量與壓降之間呈現(xiàn)嚴(yán)格的線性關(guān)系（△P ∝ Q），從根本上消除了傳統(tǒng)孔板節(jié)流在微小量下的非線性誤差。

　　2. 高敏硅基傳感陣列

　　采用航空級(jí)硅基MEMS差壓傳感芯片，分辨率高達(dá)0.1% FS。配合的溫度自補(bǔ)償算法，在環(huán)境溫度劇烈波動(dòng)（-10℃~60℃）時(shí)，依然能有效抑制因氣體粘性變化帶來的熱漂移，確保微小流量信號(hào)不被環(huán)境噪聲淹沒。

　　3. 智能零點(diǎn)在線校準(zhǔn)（Auto-Zero）

　　針對(duì)微小量程“易漂移”的致命弱點(diǎn)，產(chǎn)品集成了三閥組隔離模塊。用戶可通過指令觸發(fā)，在不中斷管路物理連接的情況下，自動(dòng)切斷氣路并建立零壓參考腔，執(zhí)行動(dòng)態(tài)零點(diǎn)歸零，有效解決了因熱對(duì)流或安裝應(yīng)力導(dǎo)致的長(zhǎng)期零點(diǎn)漂移問題。

　　三、 關(guān)鍵性能指標(biāo)
 

　　四、 典型應(yīng)用場(chǎng)景

　　半導(dǎo)體/光伏行業(yè)：CVD（化學(xué)氣相沉積）及PVD（物理氣相沉積）工藝中的反應(yīng)源氣體微量精確控制，特種氣體（如SiH?、PH?）的泄露監(jiān)測(cè)。

　　氣密性檢測(cè)：新能源電池殼、汽車零部件IP67防水透氣閥的微小泄漏量（單位：Pa·m?/s）定量判定。

　　分析儀器集成：氣相色譜儀（GC）載氣穩(wěn)流、質(zhì)譜儀進(jìn)樣系統(tǒng)的超低流量背壓穩(wěn)定。

　　生物醫(yī)藥：生物反應(yīng)器中的微量氧氣/二氧化碳補(bǔ)充與尾氣分析。

　　五、 現(xiàn)場(chǎng)安裝與工程化優(yōu)勢(shì)

　　多維安裝姿態(tài)：不受重力影響，支持垂直或水平任意角度安裝，適應(yīng)緊湊的設(shè)備機(jī)柜布局。

　　潔凈工藝保證：所有接液部件（流道）采用316L不銹鋼或哈氏合金材質(zhì)，內(nèi)部電化學(xué)拋光至Ra ≤ 0.4μm，有效防止微小顆粒吸附及工藝氣體污染。

　　低功耗設(shè)計(jì)：整機(jī)功耗低于 3W，支持DC 24V集中供電，無需額外散熱空間。

　　六、 選型注意事項(xiàng)（工程提醒）

　　在微小量程應(yīng)用中，管路的氣密性直接影響測(cè)量結(jié)果。我司建議：

　　前端過濾：務(wù)必在流量計(jì)上游安裝 2μm 精密過濾器，防止微量粉塵堵塞層流元件。

　　背壓穩(wěn)定：若用于大氣排放場(chǎng)景，建議在出口安裝限流器，消除下游風(fēng)速擾動(dòng)對(duì)傳感器膜片的沖擊。