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ULVAC/日本愛發(fā)科
經銷商
EXN3M-70W
3
福建廈門市
2026/6/22 10:57:45
產品簡介
| 供貨周期 | 一個月以上 | 應用領域 | 能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件,綜合 |
ULVAC/日本愛發(fā)科高頻電源系統(tǒng),型號:EXN3M-70W
ULVAC/日本愛發(fā)科高頻電源系統(tǒng),型號:EXN3M-70W
等離子體發(fā)電電源或薄膜形成電源是一種通過在電極之間施加電壓來產生等離子體的裝置。
利用該技術,實現(xiàn)了PVD(如濺射)、CVD、蝕刻和灰化等真空工藝。
通過這些工藝,薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上,以創(chuàng)造新的附加價值。 這項技術被廣泛應用于我們日常使用的產品中。
各種膜的形成創(chuàng)造了附加價值,改變了它們的形狀,現(xiàn)在也被用作我們日常生活中熟悉的產品。
相關行業(yè)極為廣泛,涵蓋半導體和電子設備、顯示器、可再生能源、儲能、汽車等。 膠片材料的選擇和所用工藝對膠片形成至關重要,在考慮生產效率和質量時,動力源的選擇也是一個關鍵因素。
薄膜形成工藝包括PVD(如濺射)、CVD、蝕刻和灰化,每種工藝都需要合適的電源。
·帶內置積分器的高頻電源:“
型號:RMG” ·多功能高頻電源系統(tǒng)(射頻電源系統(tǒng)):“型號:RF-N”
• 多種高頻電源選項:“型號:MEX-N”/” 型號:EXN“ / ”型號:PHS-N“ / ”型號:EXO“
你可以切換匹配盒子的輸出。
由于無需為每個陰極安裝匹配的盒子,這大大降低了設備成本。
切換方式有兩種:手動和電動機驅動。 我們還準備了水冷系統(tǒng),支持更高的功耗。
它也可以用作直流電源和直流脈沖輸出的切換器。
由于只使用一個匹配箱,超出匹配范圍的負載不能同時使用。
| 規(guī)格 | 風冷目標選擇器規(guī)格 | |||||
| EXN2T-40A | EXN3T-40A | EXN4T-40A | EXN2M-40A | EXN3M-40A | EXN4M-40A | |
| 開關觸點數(shù)量 | 2分 | 3分 | 4分 | 2分 | 3分 | 4分 |
| 使用頻率 | DC-13.56MHz | |||||
| 額定電流 | 40A | |||||
| 切換方法 | 手動類型 | 電式 | ||||
| 冷卻方法 | 自然風冷 | |||||
| 規(guī)格 | 水冷目標選擇器規(guī)格 | |||||
| EXN2T-70W | EXN3T-70W | EXN4T-70W | EXN2M-70W | EXN3M-70W | EXN4M-70W | |
| 開關觸點數(shù)量 | 2分 | 3分 | 4分 | 2分 | 3分 | 4分 |
| 使用頻率 | DC-13.56MHz | |||||
| 額定電流 | 70A | |||||
| 切換方法 | 手動類型 | 電式 | ||||
| 冷卻方法 | 水冷 | |||||
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是一家主要從事流體輸送設備、加藥系統(tǒng)、水質檢測分析及真空設備銷售與維護的企業(yè),主要經營以下產品:氣動隔膜泵、加藥計量泵、粘度計、流量計、在線水質分析儀表以及各類真空泵類、檢漏設備等;產品*,價格公道。我司所提供的產品廣泛應用在水處理、化工、涂料、食品、制藥、金屬加工及半導體等行業(yè),公司擁有專業(yè)的售后服務人員及檢測設備,為用戶長期提供各類設備的檢測、保養(yǎng)、維修服務。
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