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一、熱式氣體質(zhì)量流量計核心參數(shù)

• 量程：0–50 SCCM（N?標定）

• 精度：±1.5% F.S.

• 線性度：±1% F.S.

• 重復性：±0.2% F.S.

• 響應時間：氣路≤4 s；電路≈10 s

• 工作壓力：0.1–0.5 MPa；耐壓 3 MPa

• 壓差 / 壓降：<0.01 MPa

• 工作溫度：5–45 °C

• 信號：0–5 V（輸入 / 輸出）

• 電源：±15 V（50 mA）

• 重量：≈0.92 kg
  
  

二、熱式氣體質(zhì)量流量計原理與區(qū)別

• 原理：熱式質(zhì)量流量，基于氣體傳熱與流動的關(guān)系，無需溫壓補償。

• MFM（流量計）：僅測流量，無控制閥門（如 D07-50BM）。

• MFC（控制器）：內(nèi)置電磁閥 + PID，可閉環(huán)穩(wěn)流（如 D07-50B）。
  
  

三、熱式氣體質(zhì)量流量計典型應用

• 半導體：CVD、刻蝕、擴散、氧化

• 真空鍍膜、材料研發(fā)、混氣配氣

• 分析儀器、燃料電池、光伏工藝
  
  

四、熱式氣體質(zhì)量流量計選型要點

1. 確認氣體類型（N?、Ar、O?等，不同氣體需換算）。

2. 選擇 MFM（僅測）或 MFC（需控）。

3. 匹配量程（50 SCCM）、壓力、接口（標準 1/4" 卡套）。

4. 配套顯示儀：如D08 系列。