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| ≥1件 |
ULVAC/日本愛發(fā)科
經銷商
RFS-1305N
16
福建廈門市
2026/6/22 10:44:45
產品簡介
| 供貨周期 | 一個月以上 | 應用領域 | 能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件,綜合 |
ULVAC/日本愛發(fā)科高頻電源系統(tǒng),型號:RFS-1305N
ULVAC/日本愛發(fā)科高頻電源系統(tǒng),型號:RFS-1305N
等離子體發(fā)電電源或薄膜形成電源是一種通過在電極之間施加電壓來產生等離子體的裝置。
利用該技術,實現(xiàn)了PVD(如濺射)、CVD、蝕刻和灰化等真空工藝。
通過這些工藝,薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上,以創(chuàng)造新的附加價值。 這項技術被廣泛應用于我們日常使用的產品中。
各種膜的形成創(chuàng)造了附加價值,改變了它們的形狀,現(xiàn)在也被用作我們日常生活中熟悉的產品。
相關行業(yè)極為廣泛,涵蓋半導體和電子設備、顯示器、可再生能源、儲能、汽車等。 膠片材料的選擇和所用工藝對膠片形成至關重要,在考慮生產效率和質量時,動力源的選擇也是一個關鍵因素。
薄膜形成工藝包括PVD(如濺射)、CVD、蝕刻和灰化,每種工藝都需要合適的電源。
·帶內置積分器的高頻電源:“
型號:RMG” ·多功能高頻電源系統(tǒng)(射頻電源系統(tǒng)):“型號:RF-N”
• 多種高頻電源選項:“型號:MEX-N”/” 型號:EXN“ / ”型號:PHS-N“ / ”型號:EXO“
通過配備高功率轉換效率的射頻電路,實現(xiàn)了節(jié)能效果。
高速自動匹配與高速算法
射頻電源內置自動匹配功能
提供外部模擬控制和串行通信控制。
通過基于多年積累的技術設計,我們實現(xiàn)了可靠性。
| 射頻電源模型 | RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1330N | RFS-1350N | |
| 輸入規(guī)范 | 輸入電壓 | 單相交流 200V - 220V | 三相交流 200V - 220V | ||
| 輸入容量 | 1.2 kVA或以下 | 1.8 kVA或以下 | 低于5千伏安 | 低于8千伏安 | |
| 輸出規(guī)范 | 振蕩頻率 | 13.56MHz | |||
| 額定功率 | 500W(50Ω負載時) | 1000W(50Ω負載) | 3000W(50Ω負載時) | 5000W(50Ω負載時) | |
| 同軸輸出連接器 | N型 | HN型 | DIN 7/16 | ||
| 冷卻方法 | 強制風冷 | 強制風冷+水冷 | |||
| 不需要冷卻水 | 流量:4升/分鐘 | 流量:6升/分鐘 | |||
| 外部尺寸(W×D×H)不包括突出物 | 240 x 495 x 150(毫米) | 480 × 500 × 150 (毫米) | |||
| 質量 | 約11公斤 | 大約23公斤 | |||
| 兼容規(guī)范 | CE、KC、半F47、半S2、RoHS | ||||
| 匹配盒模型 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N |
| 輸入功率 | 30~500W | 30~1000W | 30~3000W | 50~5000W |
| 允許輸出電流 | 30A | 80A | 120A | |
| 允許輸出電壓 | 2500Vpp | 5000Vpp | 10000Vpp | |
| 冷卻方法 | 強制風冷 | 水冷(2升/分鐘) | ||
| 外部尺寸(W×D×H)不包括突出物 | 375 × 250 × 120 (毫米) | 375 × 250 × 170 毫米 | 450 × 500 × 248 (毫米) | |
| 質量 | 大約8公斤 | 大約10公斤 | 約21公斤 | |
| 兼容規(guī)范 | CE、KC、半F47、半S2、RoHS | |||
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是一家主要從事流體輸送設備、加藥系統(tǒng)、水質檢測分析及真空設備銷售與維護的企業(yè),主要經營以下產品:氣動隔膜泵、加藥計量泵、粘度計、流量計、在線水質分析儀表以及各類真空泵類、檢漏設備等;產品*,價格公道。我司所提供的產品廣泛應用在水處理、化工、涂料、食品、制藥、金屬加工及半導體等行業(yè),公司擁有專業(yè)的售后服務人員及檢測設備,為用戶長期提供各類設備的檢測、保養(yǎng)、維修服務。
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