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進口華南一級代理EBARA荏原廢氣處理設(shè)備
進口華南一級代理EBARA荏原廢氣處理設(shè)備

一、核心定位與用途

• 設(shè)備類型：燃燒 + 濕式洗滌式廢氣處理系統(tǒng)（POU 末端處理）。

• 適用行業(yè)：半導(dǎo)體、LCD、LED、光伏電池、化學(xué)品制造、實驗室等。

• 處理對象：

• 可燃氣體（如 TEOS、硅烷類）

• 溫室氣體（PFCs：CF?、C?F?等）

• 酸性 / 堿性 / 活性工藝廢氣

二、主要型號與規(guī)格（流量分級）

• G5-350：*大進氣量 350 L/min，4 個進氣口（NW40）

• G5-500：*大進氣量 500 L/min，4 個進氣口

• G5-600：*大進氣量 600 L/min，6 個進氣口（大流量版）

• G5-1200：*大進氣量 1200 L/min，6 個進氣口（超大流量版）

• 型號后綴：

• A1~A6：標準非防爆型

• P1~P6：防爆 / 特殊配置版

三、關(guān)鍵技術(shù)特點

1. 高效處理 PFCs：專屬燃燒分解技術(shù)，對 CF?、C?F?等難分解 PFCs 去除率高。

2. 一爐多氣混處理：可燃、酸性、PFCs 可同時處理，減少設(shè)備數(shù)量。

3. 節(jié)能按需燃燒：

• 快速啟動燃燒器，待機低耗

• 燃料（天然氣 / 丙烷）隨廢氣流量自動調(diào)節(jié)，降低運行成本

4. 自動副產(chǎn)物**：

• 燃燒區(qū)自動刮板 + 粉體自動排出

• 濕式段流水壁結(jié)構(gòu)，減少維護頻次，延長連續(xù)運行時間

5. **與合規(guī)：

• 多重**聯(lián)鎖（熄火、超溫、壓力異常）

• 符合CE/SEMI-S2/NRTL標準

四、典型技術(shù)參數(shù)（以 G5-350 為例）

• 尺寸（寬 × 深 × 高）：約 1200×650×1900 mm

• 電源：208/400 VAC，50/60 Hz，約 1.7 kVA

• 燃料：天然氣（約 14 slm）或丙烷（約 6 slm）

• 水耗：工藝水約 10 L/min，節(jié)水型約 3 L/min

五、優(yōu)缺點總結(jié)

• 優(yōu)點：PFCs 處理效率高、多氣混處理、節(jié)能運行、維護自動化、**合規(guī)、長壽命。

• 局限：需燃料（天然氣 / 丙烷）、有一定水耗、初期投資較高。

六、應(yīng)用場景建議

• 半導(dǎo)體刻蝕 / 沉積工藝尾氣（含 PFCs、硅烷、TEOS）

• 光伏 / 面板行業(yè)酸性 + 可燃混合廢氣

• 實驗室小批量高危害廢氣處理