日本富士工業(yè)FUJI 超聲波單成分濃度計(jì)
品牌:富士工業(yè) FUJI INDUSTRY(日本原裝)
型號(hào):FUD?1 Model?13(超音波単成分濃度計(jì))
產(chǎn)品全稱(chēng):FUD?1 Model?13 半導(dǎo)體用超聲波單成分濃度計(jì)
核心特點(diǎn):超聲波非接觸測(cè)量、單成分精準(zhǔn)檢測(cè)、在線(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、無(wú)耗材、響應(yīng)速度快、耐藥液腐蝕、適配半導(dǎo)體潔凈工藝
運(yùn)行模式:探頭向藥液發(fā)射超聲波,通過(guò)檢測(cè)聲速變化換算對(duì)應(yīng)濃度值,實(shí)時(shí)輸出數(shù)據(jù)至控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)藥液濃度監(jiān)控、報(bào)警與配比聯(lián)動(dòng),穩(wěn)定濕法工藝藥液品質(zhì)。
設(shè)備類(lèi)型:半導(dǎo)體專(zhuān)用藥液濃度在線(xiàn)檢測(cè)儀表
產(chǎn)地:進(jìn)口
適用行業(yè):半導(dǎo)體晶圓清洗、濕法蝕刻、顯影剝離、光伏 / 面板濕法制程、精密電子化學(xué)品管控
外觀結(jié)構(gòu):管路安裝式探頭 + 信號(hào)變送器,適配藥液循環(huán)管路在線(xiàn)集成
整機(jī)特點(diǎn):無(wú)易損耗材、維護(hù)簡(jiǎn)單、抗氣泡干擾、長(zhǎng)期漂移小、潔凈度達(dá)標(biāo)
自定義標(biāo)簽:富士工業(yè)超聲波濃度計(jì)、FUD?1 Model?13 藥液檢測(cè)儀、半導(dǎo)體濕法在線(xiàn)監(jiān)測(cè)、單成分濃度管控、超聲波液體分析儀表
檢測(cè)原理:超聲波聲速檢測(cè)法
適用對(duì)象:半導(dǎo)體常用單成分酸堿藥液、溶劑、清洗液
測(cè)量方式:管路在線(xiàn)連續(xù)測(cè)量
信號(hào)輸出:標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)信號(hào),可對(duì)接 PLC、流量控制器等設(shè)備
探頭材質(zhì):耐腐蝕、低析出材質(zhì),適配半導(dǎo)體潔凈環(huán)境
抗干擾:優(yōu)化結(jié)構(gòu)降低微小氣泡、雜質(zhì)對(duì)測(cè)量影響
適用工況:常溫濕法循環(huán)管路、24 小時(shí)連續(xù)在線(xiàn)監(jiān)測(cè)
日本富士工業(yè)FUJI 超聲波單成分濃度計(jì)
1. 超聲波非接觸檢測(cè),適配半導(dǎo)體高潔凈要求
區(qū)別于折光、電導(dǎo)式檢測(cè),采用超聲波測(cè)量,探頭不直接干擾藥液成分,無(wú)離子析出、無(wú)二次污染,滿(mǎn)足半導(dǎo)體工藝對(duì)藥液純度的嚴(yán)格要求。
2. 單成分專(zhuān)用優(yōu)化,針對(duì)性管控濕法核心藥液
針對(duì)半導(dǎo)體常用單一化學(xué)試劑調(diào)校,排除多成分干擾,濃度識(shí)別精準(zhǔn)穩(wěn)定,用于固定配方清洗、蝕刻工序,減少晶圓表面腐蝕不均、清洗不干凈等不良。
3. 無(wú)耗材在線(xiàn)監(jiān)測(cè),降低長(zhǎng)期運(yùn)維成本
無(wú)需更換試劑、電極等消耗品,探頭使用壽命長(zhǎng),可長(zhǎng)期在線(xiàn)運(yùn)行,減少停機(jī)維護(hù)頻次,適配產(chǎn)線(xiàn)連續(xù)量產(chǎn)節(jié)奏。
4. 可與供液系統(tǒng)聯(lián)動(dòng),實(shí)現(xiàn)藥液閉環(huán)管控
可與液體流量控制器、供液泵聯(lián)動(dòng),根據(jù)濃度自動(dòng)調(diào)節(jié)補(bǔ)藥或排放,穩(wěn)定藥液濃度區(qū)間,減少人工頻繁取樣化驗(yàn)。
5. 日系專(zhuān)用設(shè)備,適配整套半導(dǎo)體濕法產(chǎn)線(xiàn)
和日系流量控制器、管路軟管、工控控制器規(guī)格匹配,可無(wú)縫集成于濕法清洗設(shè)備,整體兼容性好,適合日系設(shè)備國(guó)產(chǎn)化配套與改造。
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