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一、工作原理（壓差式，非熱式）

1. 核心檢測(cè)：氣體流經(jīng)層流限流元件，測(cè)上下游差壓 ΔP=P1?P2；同時(shí)測(cè)進(jìn)氣壓力 P1與氣體溫度 T。

2. 質(zhì)量流量計(jì)算：基于層流方程 + 三維標(biāo)定表（工廠實(shí)測(cè)氣體數(shù)據(jù)庫(kù)），由 P1、ΔP、T 算出標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)質(zhì)量流量，公式近似：Flow ∝ (P12?P22)/T。

3. 閉環(huán)控制：32 位 CPU 每 2ms 對(duì)比設(shè)定值與實(shí)測(cè)值，驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷控制閥調(diào)節(jié)開(kāi)度，穩(wěn)定流量。

4. 壓力不敏感（PI）：控制閥置于入口，配合算法抑制上游壓力波動(dòng)，供氣系統(tǒng)可省去穩(wěn)壓閥。
   
   

二、核心結(jié)構(gòu)

• 進(jìn)氣口→壓力傳感器 P1→過(guò)濾器→壓電控制閥→層流元件→差壓傳感器 ΔP→溫度傳感器 T→出氣口。

• 材質(zhì)：全金屬（316L 不銹鋼），耐腐、低泄漏、兼容特種氣體。
  
  

三、關(guān)鍵參數(shù)（典型）

• 流量范圍：0.1–1000 sccm（多量程，軟件可選）。

• 控制精度：±1% SP（設(shè)定值），重復(fù)精度 ±0.03%–0.3%。

• 響應(yīng)時(shí)間：<0.8 s（10%→90%）。

• 動(dòng)態(tài)范圍：0.2%–100% FS（寬量程比 500:1）。

• 壓力規(guī)格：入口3.5–7.5 bar，工作差壓0.5–2 bar。

• 通信：RS485（標(biāo)準(zhǔn)）/ 模擬（0–5V/4–20mA）。

• 供電：15 VDC，功耗低。
  
  

四、核心功能與優(yōu)勢(shì)

1. 壓力不敏感（PI）：上游壓力波動(dòng) ±10% 時(shí)，流量誤差<±0.5%，簡(jiǎn)化氣路、降成本。

2. 多氣體 / 多量程：內(nèi)置100 + 氣體庫(kù)，現(xiàn)場(chǎng)可切換氣體與滿量程，無(wú)需換硬件。

3. G?LIFE 自診斷：3 秒內(nèi)自檢限流元件、傳感器、閥泄漏，在線監(jiān)測(cè)、預(yù)判故障。

4. 高精度 + 高速：三維標(biāo)定 + 壓電閥，適合快速切換、小流量 / 大流量精密控制。

5. 全金屬 + 低死體積：兼容腐蝕性 / 高純氣體，吹掃快、殘留少。
   
   

五、典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體：刻蝕（Etch）、沉積（CVD）、擴(kuò)散等工藝氣體（Ar、N?、O?、CF?、Cl?等）控制。

• 真空 / 薄膜：PECVD、ALD、濺射的氣體配比與流量控制。

• 科研 / 工業(yè)：實(shí)驗(yàn)室、特種氣體、精密燃燒、檢漏等場(chǎng)景。
  
  

六、與傳統(tǒng)熱式 MFC 對(duì)比

• 抗壓力波動(dòng)：D500（壓差式）強(qiáng)；熱式弱（需穩(wěn)壓）。

• 響應(yīng)速度：D500 <0.8 s；熱式1–3 s。

• 小流量精度：D500 優(yōu)（層流差壓靈敏）；熱式一般。

• 腐蝕性氣體：D500 全金屬，適配；熱式傳感器易腐蝕。

• 價(jià)格：D500 中高；熱式低–中。