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微波等離子技術(shù)是用微波電磁場激發(fā)氣體電離，形成低溫，高密度等離子體的技術(shù)。

應用領(lǐng)域

u 半導體封裝：芯片焊盤清洗、引線框架處理

u 光學器件：透鏡、光纖表面清潔與活化

u 醫(yī)療植入物：手術(shù)器械、人工關(guān)節(jié)表面處理

u 汽車電子：傳感器、鍵合表面預處理

u 科研實驗：材料表面改性、納米涂層前處理

產(chǎn)品特點

u 智能交互界面：7寸彩色觸摸屏，中英文雙語操作，實時監(jiān)測與自動調(diào)節(jié)工藝參數(shù)，內(nèi)置20組配方程序，支持工藝數(shù)據(jù)存儲與追溯。

u 可靠控制系統(tǒng)：PLC全程控制，支持手動/自動雙模式，清洗過程穩(wěn)定可靠，重復性優(yōu)異。

u 雙向智能真空控制：支持氣體流量或腔體壓力兩種模式精準調(diào)控真空度，工藝調(diào)控靈活，適應多樣化精密處理需求。

u 精準氣體管理：標配雙質(zhì)量流量計（MFC），支持氧氣、氬氣、氮氣、氫氣及混合氣體等多種氣源，控制精度高，工藝一致性優(yōu)。

u 潔凈防污設計：配備HEPA高效過濾器，氣體返填吹掃功能，避免交叉污染。

u 優(yōu)質(zhì)材質(zhì)結(jié)構(gòu)：真空艙體采用316不銹鋼或石英材質(zhì)，全真空管路為316不銹鋼，耐腐蝕、無污染。

u 人性化操作設計：符合人體工能學操作面板，上控制下艙體結(jié)構(gòu)，節(jié)省空間。

u 高效穩(wěn)定工藝：處理快速均勻，重復性好，樣品處理溫度低，避免熱損傷與熱氧化。

u 周全安全保護：艙門開啟自動斷電，可控泄壓等多重防護機制，保障操作人員與樣品安全。