ANEST IWATA / 阿耐思特巖田 VTU-050（渦輪分子泵排氣單元 / 消音過(guò)濾單元）

一、型號(hào)編碼全解析

• VTU：Vacuum Turbo Unit → 渦輪分子泵排氣輔助單元（消音 + 過(guò)濾 + 背壓控制）

• 050：適配50 L/s（N?） 級(jí)渦輪分子泵（SL-50），對(duì)應(yīng)排氣流量規(guī)格

• 無(wú) LV/BV 后綴：標(biāo)準(zhǔn)通用型，適配常規(guī)前級(jí)干泵，非低壓專用

二、核心性能參數(shù)

1. 真空與排氣性能

• 適配主泵：SL-50 渦輪分子泵（抽速 50 L/s，N?）

• 極限背壓：≤100 Pa（保障分子泵正常抽速、不衰減）

• 過(guò)濾精度：0.1 μm（高效玻纖濾芯，攔截粉塵 / 顆粒物）

• 排氣噪音：≤58 dB(A)（內(nèi)置消音腔，大幅降低排氣噪音）

• 工作壓力：適配分子泵排氣側(cè) 10?? Pa ~ 100 Pa 區(qū)間

2. 接口與連接

• 進(jìn)氣口（接分子泵排氣）：NW40 / KF40（快裝法蘭，標(biāo)準(zhǔn)真空接口）

• 排氣口（接前級(jí)干泵）：NW25 / KF25

• 冷卻方式：空冷（無(wú)需水冷，安裝便捷）

3. 結(jié)構(gòu)與規(guī)格

• 材質(zhì)：殼體鋁合金，濾芯高效玻纖 + 不銹鋼支撐網(wǎng)

• 尺寸：緊湊立式，適配小型真空腔體 / 設(shè)備集成

• 維護(hù)：內(nèi)置可更換濾芯（型號(hào)：VTU-050-FILTER），壽命約2000–3000h

三、核心功能與優(yōu)勢(shì)

1. 背壓控制，保護(hù)分子泵：精準(zhǔn)控制排氣背壓≤100Pa，避免分子泵因背壓過(guò)高導(dǎo)致抽速下降、過(guò)熱、軸承損壞

2. 無(wú)油潔凈過(guò)濾：無(wú)油設(shè)計(jì)，濾芯攔截微小顆粒，杜絕粉塵 / 雜質(zhì)進(jìn)入前級(jí)干泵，延長(zhǎng) ISP 干泵壽命、保持真空系統(tǒng)潔凈

3. 高效消音降噪：多級(jí)消音腔結(jié)構(gòu)，排氣噪音降至 58dB (A)，滿足實(shí)驗(yàn)室 / 潔凈室靜音要求

4. 緊湊集成、易維護(hù)：體積小、重量輕，直接串聯(lián)在分子泵與前級(jí)干泵之間，濾芯快拆更換，無(wú)需復(fù)雜調(diào)試

四、適配場(chǎng)景（必看）

• 小型半導(dǎo)體設(shè)備：晶圓檢測(cè)、小型刻蝕 / 沉積腔、真空探針臺(tái)

• 分析儀器：質(zhì)譜儀、小型電子顯微鏡、表面分析設(shè)備

• 真空鍍膜：小型光學(xué)鍍膜、PVD 濺射、科研鍍膜設(shè)備

• 實(shí)驗(yàn)室高真空：材料表征、物理實(shí)驗(yàn)、小型真空腔體排氣

五、選型與維護(hù)要點(diǎn)

1. 核心定位：VTU-050 是排氣輔助單元（消音 + 過(guò)濾 + 背壓），≠ 完整泵組（無(wú)分子泵 / 干泵），必須搭配 SL-50 分子泵 + ISP 前級(jí)干泵使用

2. 介質(zhì)要求：僅允許干燥、潔凈惰性氣體（N?、Ar）/ 潔凈空氣，嚴(yán)禁水汽、腐蝕性氣體、粉塵進(jìn)入

3. 維護(hù)周期：定期檢查排氣濾芯，壓差升高 / 堵塞時(shí)立即更換（VTU-050-FILTER），防止背壓超標(biāo)

4. 型號(hào)區(qū)分：VTU-050（50L/s 適配）≠ VTC-050（小型集成泵組）、≠ VTU-100（100L/s 適配）