玉崎 日本原裝IWATA 適配真空泵

玉崎 日本原裝IWATA 適配真空泵

ANEST IWATA / 阿耐思特巖田 VTC-150 （高真空排氣系統）

一、型號編碼解析

• VTC：Vacuum Turbo Cart → 渦輪分子泵集成排氣系統

• 150：渦輪分子泵抽速規(guī)格（150 L/s（N?） 級）

• 后綴說明：常見為 VTC-150-LV1/LV2（LV=Low Vacuum，低真空側適配；LV1=50Hz、LV2=60Hz，電氣規(guī)格差異）

二、核心性能參數

三、核心功能與優(yōu)勢

1. 無油潔凈真空：全程無油設計，杜絕油霧返滲，適配半導體、醫(yī)藥、食品等潔凈場景。

2. 高抽速 + 快速抽氣：150 L/s 主泵 + 250 L/min 粗抽泵，兼顧高真空與預抽效率，縮短制程節(jié)拍。

3. 低背壓 LV 設計：粗抽側流道優(yōu)化，不增加分子泵負載，不影響極限真空與抽速。

4. 集成化運維：同步啟?？刂疲瑑戎霉收媳Ｗo與狀態(tài)監(jiān)控，維護便捷（濾芯壽命約 2000–3000h）。

四、適配場景

• 半導體：晶圓刻蝕、CVD/PVD 沉積、離子注入、真空檢測腔

• 真空鍍膜：光學鍍膜、磁控濺射、半導體薄膜制備

• 分析儀器：質譜儀、電子顯微鏡、表面分析設備

• 科研實驗：超高真空物理實驗、材料表征、超導 / 量子設備

五、選型與維護要點

1. 介質要求：僅允許干燥、潔凈氣體（N?、Ar、潔凈空氣），進氣端需加裝 0.1μm 高效過濾器，嚴防粉塵 / 水汽 / 腐蝕性氣體。

2. 啟動順序：先啟 ISP 粗抽泵預抽至低真空，再啟動渦輪分子泵，嚴禁分子泵在大氣壓下直接啟動。

3. 型號區(qū)分：VTC-150 為高真空集成系統，≠ 小型排氣過濾器（如 VTC-050），需與對應抽速的 ISP / 渦旋干泵配套使用。

4. 維護：定期檢查排氣濾芯與泵油位（ISP 干泵），濾芯堵塞時及時更換（型號：VTC-150-FILTER）。