吸塵器過濾測試系統(tǒng)
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/12/4 15:54:35
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薄膜半導(dǎo)體材料制備系統(tǒng)超高真空組件過濾測試設(shè)備過濾性測試機(jī)ISO16890濾料測試
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|
吸塵器過濾測試系統(tǒng):
在TVE 3000的幫助下,真空吸塵器測試可以比按照EN 60312標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行更經(jīng)濟(jì)有效。此外,可以可靠地區(qū)分帶袋的真空吸塵器和帶袋的真空吸塵器和帶袋的HEPA端過濾器的分離行為,或者作為帶鹽的選項,例如鹽發(fā)生器AGK 2000內(nèi)的NaCl或KCl。所使用的塵埃分散劑RBG 1000的操作比標(biāo)準(zhǔn)中所要求的均勻得多,因此提供了優(yōu)化的塵埃應(yīng)用,這是用顆粒測量裝置精確測量分離效率的先決條件。
利用Promo∈2000顆粒測量系統(tǒng),借助于清潔氣體中的wels∈2300氣溶膠傳感器,真空吸塵器的排放可根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測量。結(jié)果,不僅可以準(zhǔn)確地比較真空吸塵器,而且可以可靠地評估各個過濾級。
使用Promo∈3000顆粒測量系統(tǒng),用戶可以訪問高分辨率氣溶膠光譜儀,用于幾乎同時測定原料氣體和清潔氣體中的顆粒尺寸分布和顆粒濃度。 welas∈2070氣溶膠傳感器精確地確定原料氣中的測量,而welas∈氣溶膠傳感器2300在清潔氣體中執(zhí)行測量,允許執(zhí)行真空吸塵器袋和HEPA端過濾器的分離效率。
吸塵器過濾測試系統(tǒng)功能
使用灰塵分散器RBG 1000將灰塵引入系統(tǒng)。粉塵濃度的再現(xiàn)性在數(shù)量方面小于10%。
welas∈2070氣溶膠傳感器測量原料氣體(真空吸塵器的上游)中的顆粒尺寸分布和顆粒濃度?;覊m被真空吸塵器吸入,并在真空吸塵器袋和HEPA端過濾器中分離出來。然后,利用清潔氣體側(cè)(真空吸塵器的下游)的welas∈2300氣溶膠傳感器測量來自真空吸塵器的排放。通過對原料氣和清潔氣的測量,確定了真空吸塵器的餾分分離效率。
FTControl軟件允許同時在屏幕上顯示不同真空吸塵器的許多餾分分離效率測量。
粉塵分散器和清潔氣體傳感器均可設(shè)置在不同的位置,從而可以研究流道對顆粒沉降的影響。
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