單片晶圓拾取和放置
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/12/4 12:37:39
- 訪問次數(shù) 265
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
單片晶圓拾取和放置:
SPPE是一種單晶圓拾取和放置機(jī)器,它使用非真空端部執(zhí)行器在盒內(nèi)或盒間傳輸晶圓,典型吞吐量為400wph。
晶圓轉(zhuǎn)移前的卡塞映射
傳感器在整個(gè)傳輸過程中檢查晶片的安全性
觸摸屏界面
可以創(chuàng)建特定的工藝配方
SECS/ GEM (Option)
靜電防護(hù)
能夠處理多種晶圓厚度
檢查模式顯示晶片在空LP2處進(jìn)行目視檢查
最小晶圓接觸真空自由端部執(zhí)行器手指
TAIKO/MEMS處理-邊緣接觸設(shè)計(jì)(可選)
單片晶圓拾取和放置:
Model | Wafer Size | Description |
SPPE* | 75/100/125/ 150/ 200 mm 75/100mm 100/150mm 150/200mm | Single Wafer Pick & Place |
科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺來實(shí)現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個(gè)火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。



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