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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年，是國家高新技術(shù)企業(yè)，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。
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10nm分辨率光纖激光尺產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
| 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
10nm分辨率光纖激光尺詳細信息
光纖激光尺比傳統(tǒng)光柵精度高10倍，分辨率達原子層級（10nm=100個原子直徑?。┮酝黄菩约す飧缮婕夹g(shù)，一站式解決高要求場景下的位置檢測難題。PLR3000系列10nm分辨率光纖激光尺已在多個客戶端進行精度驗證：用差分干涉（DI）探頭對高精度納米位移臺進行閉環(huán)控制，在10mm行程內(nèi)任意位置實現(xiàn)納米級位置控制精度。
一、產(chǎn)品優(yōu)勢
1.高精度
分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩(wěn)頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。
環(huán)境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。
2.靈活配置
支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現(xiàn)多自由度測量。
可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場景。
3.高穩(wěn)定性與便捷性
激光光源與探頭分離設計，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾，安裝靈活。
體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風險。
4.廣泛適用性
最大量程4米（可拓展），支持動態(tài)速度達2m/s，覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運動場景。
二、測量功能
1.納米級信號輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號雙輸出，適配各類控制器；
2. 全環(huán)境自適應：一體化環(huán)境氣象站，實時補償環(huán)境參數(shù)對測量的影響，數(shù)據(jù)長期可靠；
3. 靈活安裝設計：激光主機與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；
4. 多維度測量支持：單軸/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實現(xiàn)多自由度測量；
5. 雙重使用模式：PLR3000系列10nm分辨率光纖激光尺既可作為激光干涉儀獨立測量，也可接入系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制；
三、典型應用
1. 半導體制造：光刻機晶圓精準定位、精密工件臺閉環(huán)反饋，助力芯片制造良率提升；
2. 航空航天：發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準，保障核心部件可靠性；
3. 精密加工：數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率；
4. 科研領域：光學平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實驗設備控制，支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準度；
注：產(chǎn)品參數(shù)將根據(jù)技術(shù)迭代持續(xù)優(yōu)化，故本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
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