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國(guó)儀量子（合肥）技術(shù)有限公司，源于中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)。國(guó)儀量子是*家以量子精密測(cè)量為核心技術(shù)的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，主要從事量子精密測(cè)量、量子計(jì)算和*科學(xué)儀器等技術(shù)和相關(guān)產(chǎn)品的研制、生產(chǎn)與銷售。
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國(guó)儀量子SEM5000Pro場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
| 儀器種類 | 場(chǎng)發(fā)射 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
| 加速電壓 | 20 V~30kV(可升級(jí)35kV) | 放大倍率 | 1~ 2,500,000x |
| 電子槍類型 | 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
國(guó)儀量子SEM5000Pro場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡詳細(xì)信息
國(guó)儀量子SEM5000Pro場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是低電壓高分辨的熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，使用了高壓隧道技術(shù)（Super-Tunnel）、無(wú)交叉電子光路、靜電電磁復(fù)合物鏡設(shè)計(jì)，減少了空間電荷效應(yīng)，降低系統(tǒng)像差，實(shí)現(xiàn)了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低壓下的成像分辨能力提升，可對(duì)不導(dǎo)電樣品或半導(dǎo)體樣品進(jìn)行直接觀察，有效降低了樣品輻照損傷。
國(guó)儀量子SEM5000Pro場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、分辨率高，低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像
2、電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
3、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證
4、電子光路無(wú)交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力
5、水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
6、磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動(dòng)切換光闌孔，無(wú)需機(jī)械調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
產(chǎn)品參數(shù)
| 關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 | 0.8 nm @ 15 kV，SE 1.2 nm @ 1.0 kV，SE 0.7 nm @ 35 kV STEM |
| 加速電壓 | 20 V ～ 30 kV （可升級(jí)35kV） | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 電子槍類型 | 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | |
| 樣品室 | 攝像頭 | 雙攝像頭 （光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控） |
樣品臺(tái)行程 | X: 110 mm，Y: 110 mm，Z: 65 mm | |
| 探測(cè)器和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 | 鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器：Inlens 倉(cāng)室內(nèi)電子探測(cè)器：ETD |
| 選配 | 插入式背散射電子探測(cè)器（BSED）（五分割，可選配） 低真空二次電子探測(cè)器（LVD） 背散射衍射（EBSD） 樣品交換倉(cāng)（4 寸 /8 寸） 軌跡球&旋鈕板 | |
| 軟件 | 語(yǔ)言 | 中文SEM軟件 |
| 操作系統(tǒng) | Windows | |
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航、軌跡球（選配） | |
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |
應(yīng)用案例
企業(yè)榮譽(yù)
更多榮譽(yù)| 公司名稱 | 深圳市新瑪科技有限公司 | 成立日期 | 2012年03月15日[[已認(rèn)證]] |
| 注冊(cè)資本 | 人民幣508萬(wàn)元 [[已認(rèn)證]] | 法定代表人 | 黃斌[[已認(rèn)證]] |
| 注冊(cè)號(hào) | 91440300591852087P[[已認(rèn)證]] | 企業(yè)類型 | 有限責(zé)任公司[[已認(rèn)證]] |
| 登記機(jī)關(guān) | 深圳市市場(chǎng)監(jiān)督管理局[[已認(rèn)證]] | 營(yíng)業(yè)期限 | 長(zhǎng)期[[已認(rèn)證]] |
| 經(jīng)營(yíng)范圍 | 一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是：電子儀器的技術(shù)開(kāi)發(fā)與銷售；國(guó)內(nèi)貿(mào)易，貨物及技術(shù)進(jìn)出口。（法律、行政法規(guī)或者國(guó)務(wù)院決定禁止和規(guī)定在登記前須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目除外），許可經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是：[[已認(rèn)證]] | ||
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