KOFLOC科賦樂 壓力調(diào)節(jié)閥
KOFLOC科賦樂 壓力調(diào)節(jié)閥
具有高精度控制的特性
一次側(cè)壓力變化、二次側(cè)負(fù)荷電阻變化,具有重現(xiàn)性高達(dá)±1%的高精度控制性能。
*適合用于面板安裝
流體進(jìn)出口設(shè)定在本儀器的背面,便于敷設(shè)管道。此外,本儀器輕便小巧,*適合用于面板儀表。
不滲液型
本產(chǎn)品屬于不滲液型,不會(huì)有液體流出。
用途
用于氣相色譜儀
用于科學(xué)儀器
用于氣體混合裝置
技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)(氣體):
基于熱擴(kuò)散原理,直接測量氣體質(zhì)量流量(無需溫壓補(bǔ)償)。
低流量靈敏度:可檢測0.1 sccm(如半導(dǎo)體工藝氣體控制)。
壓差式技術(shù)(液體):
通過層流元件產(chǎn)生壓差,線性輸出流量信號(hào)。
耐腐蝕設(shè)計(jì):接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能:
數(shù)字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自診斷報(bào)警(流量超限、傳感器異常)。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
案例:晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量穩(wěn)定性±0.5%,響應(yīng)時(shí)間<1秒。
配置:鈦合金流道(耐Cl?腐蝕)+ 防爆認(rèn)證(Ex d IIC T6)。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例:硅烷(SiH?)氣體輸送(MFC-3000系列)。
挑戰(zhàn):硅烷易燃易爆,需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
方案:全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能。
化工流程
案例:腐蝕性液體(如鹽酸)定量添加(RK-2400系列)。
材質(zhì)選擇:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 型號(hào) | 6600A | 6600B | 6600AL | 6600BL |
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| 一次側(cè)*大壓力 | 0.8MPa |
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| 二次側(cè)控制壓力 | 0.01?0.3MPa | 0.03?0.6MPa | 0.01?0.3MPa | 0.03?0.6MPa |
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| *小工作壓差 | 0.05MPa |
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| 耐壓力 | 0.8MPa |
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| 重現(xiàn)性 | 在額定壓力的±1%范圍內(nèi) |
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| 溫度特性 | 在額定壓力的±1%/10℃范圍內(nèi) |
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| 環(huán)境溫度 | 5℃?60℃ |
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| 額定流量 | 參照圖表 |
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| 接口 | Rc1/4(標(biāo)準(zhǔn))、Rc1/8 |
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| 流體接觸部分材質(zhì) | (A)鋁、黃銅、NBR、POM、SUS316 (SS)SUS316、氟橡膠、氟樹脂 |
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用戶評(píng)論
發(fā)布評(píng)論