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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年，是國家高新技術(shù)企業(yè)，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。
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3D白光干涉儀產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,綜合 |
3D白光干涉儀詳細信息
中圖儀器3D白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
3D白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
產(chǎn)品特點
1、干涉物鏡
不通倍率的鏡頭，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。
2、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲。
3、聲波隔振防護
儀器外殼與內(nèi)部運動機構(gòu)采用了分離式設(shè)計，有效隔離了聲波振動的傳導(dǎo)。
4、水平調(diào)整裝置
傾斜調(diào)整旋鈕，調(diào)整條紋寬度，提高3D圖像的重建精度。
5、便攜式操縱桿
采用人體工程學(xué)設(shè)計，集成了XYZ三軸位移和速度、光源亮度的自動控制，并配有緊急停止按鈕。
6、真空吸附臺
專為半導(dǎo)體晶圓片定制的真空吸附臺，確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動的影像。
7、3D重建算法
自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，測量精度可達亞納米級別。
自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro
Xtremevision Pro
全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺，集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動化測量等四個大的功能模塊，能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機型，可自主識別機型種類，二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。
Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗，重構(gòu)了顯微影像測量功能，可針對微觀平面輪廓尺寸的點、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進行直接測量和自動匹配測量。
自動化mark點識別坐標(biāo)定位自動化功能
Mark點影像識別自動坐標(biāo)位置校正，多區(qū)域坐標(biāo)點自動定位測量與分析，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動化測量。
自動拼接功能
支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測量區(qū)域，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量。
應(yīng)用領(lǐng)域圖片
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
白光干涉儀作為微觀形貌納米級檢測的核心裝備，憑借0.1nm縱向分辨率的精度，適配平、滑、透類樣品的全場景測量需求，廣泛應(yīng)用于超精密制造各核心領(lǐng)域！
1.在光通信領(lǐng)域，可完成800G/1.6T光模塊微透鏡陣列的3D形貌重構(gòu)，精準(zhǔn)獲取曲率半徑、矢高核心參數(shù)，保障光路耦合效率；
2.半導(dǎo)體行業(yè)中，針對晶圓減薄后的超光滑表面做Sa0.2nm級粗糙度定量檢測，為工藝優(yōu)化提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)；
3.3C電子領(lǐng)域，能提取并量化手機玻璃屏、晶圓表面微小劃痕、凹坑的深度與位置，實現(xiàn)微米級瑕疵精準(zhǔn)檢測；
4.光學(xué)加工行業(yè)，適配透明光學(xué)膜片、光學(xué)透鏡拋光面的三維形貌重建與粗糙度檢測；
5.汽車零部件領(lǐng)域，可完成噴油嘴平面度、精密拋光部件的納米級精度測量。
此外，設(shè)備支持大面積圖像無縫拼接，能高效完成超光滑大尺寸工件的全表面檢測，一臺設(shè)備覆蓋半導(dǎo)體、光通信、3C、光學(xué)加工、汽車等多行業(yè)核心檢測場景，適配企業(yè)從研發(fā)到量產(chǎn)的全流程質(zhì)檢需求。
懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
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