REDEFINE PRODUCTIVITY
美 國(guó) Pentagon Technologies QIII 是一款用于測(cè)量和檢測(cè)機(jī)
技術(shù)來實(shí)現(xiàn)量測(cè)的精確性和機(jī)臺(tái)的穩(wěn)定性。人的肉眼很難
看清直徑在 100um 以下的粒子,這些粒子會(huì)快速沉降,
逃避常規(guī)的空氣檢測(cè)從而聚積在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上,從而
減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性, QIII ST 表面粒
子檢測(cè)器測(cè)量( 0.1~5um )的粒子,對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的控制
,提升產(chǎn)品的良率都起到了很大的作用,能夠幫助企業(yè)更
快捷的實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)化管理。
BENEFITS
? 快速測(cè)量表面顆粒
? 可以幫忙控制機(jī)臺(tái)產(chǎn)品上的顆粒物從而提高產(chǎn)量
? 通過快速識(shí)別粒子源,減少故障排除時(shí)間
? 可以監(jiān)測(cè)物料,來料,以及Parts上的Particle
? 減少PM的周期
?符合 ISO 14644-9表面粒子操作規(guī)范
?減少粒子相關(guān)故障
規(guī)格說明
粒子量測(cè)范圍:0.1um - 5um
通道:0.1、0.2、0.3、1.0、3.0、5.0um
傳感器:雷射二極管
顯示屏幕:7 英寸 WVGA,觸控屏幕,帶有縮放功能
數(shù)據(jù)輸出:USB 端口、以太網(wǎng)絡(luò)、WiFi (選配)
語言:英文、中文、日文、韓文
尺寸和重量:寬12英寸X 深12英寸X 高9英寸,26.5 磅
輸入電源:100-240 VAC,50/60 赫茲
電池:2顆 鋰電池,可熱插入
美國(guó)Pentagon Technologies ST表面塵埃粒子理化分析儀是當(dāng)今行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量工具及過程控制表面顆粒污染解決方案專家.
更加有效管控表面粒子在0.1 um范圍成為了至關(guān)重要的產(chǎn)量良率及過程控制測(cè)量的重要指標(biāo)。
Pentagon Technologies針對(duì)從submicron至deep submicron (0.18, 0.13..) 的Production機(jī)臺(tái), 建立了特別的PM procedure可降低50% Test Wafer的消耗量及增加OEF(Overall Equipment Effectiveness), 其應(yīng)用于各種Thin Film( PVD, CVD..), Etching and Diffusion Equipments. 以及工作臺(tái)面積臺(tái)表面潔凈度等的驗(yàn)證.
Pentagon Technologies 亦針對(duì)Fab整體的contamination可提供詳細(xì)的偵測(cè)及評(píng)估進(jìn)而提高OFE (Overall Fab Effectiveness), 這可提供QA人員非常advanced的幫助。
適合使用單位:
•適合客戶群: 半導(dǎo)體黃光, 蝕刻制程, 零件清洗商,設(shè)備清潔維護(hù), 光電廠, 玻璃基板廠等
•適合單位 : PVD, CVD, Photo, Ion Plant, YE, QA, QC , Microntation , Etch, Diffusion.
用戶評(píng)論
發(fā)布評(píng)論