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高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺(tái)是高負(fù)載六自由度定位平臺(tái)hexapod,適合高精度六自由度定位應(yīng)用。
高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺(tái)ZONDA六足是高性能6DOF定位系統(tǒng)，滿足高精度、穩(wěn)定性、精度、重載和大行程的應(yīng)用。
高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺(tái)六吊艙設(shè)計(jì)用于定位高達(dá)400公斤的有效載荷，分辨率僅為0.1µm，在XY方向?yàn)?00毫米，在Z方向?yàn)?00毫米，在Rx、Ry和Rz三個(gè)旋轉(zhuǎn)方向?yàn)?0°時(shí)提供了出色的行程。
高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺(tái)ZONDA六足具有wu與倫比的精度和熱穩(wěn)定性特性，這要?dú)w功于集成了具有非常低CTE（熱膨脹系數(shù)）的Invar組件、作為致動(dòng)器標(biāo)準(zhǔn)集成的線性絕對編碼器以及特別剛性的接頭設(shè)計(jì)。
高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺(tái)特色
高穩(wěn)定性
負(fù)載高達(dá)400kg
大行程
可用于真空環(huán)境
高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺(tái)典型應(yīng)用
儀器科學(xué)與技術(shù)
航空航天
光學(xué)
計(jì)量
天文學(xué)
半導(dǎo)體等

高精度六軸并聯(lián)定位平臺(tái)參數(shù)
行程范圍Tx,Ty：+/-200mm
行程范圍：Tz： +/-150mm
行程范圍：Rx,Ry:+/-20度
行程范圍：Rz: +/-20度
分辨率Tx,Ty,Tz: 0.1um
分辨率Rx, Ry,Rz: 0.5urad
重復(fù)精度Tx,Ty,Tz: +/-0.25um
重復(fù)精度Rx,Ry,Rz:+/-1urad
速度Tx, Ty: 0.8mm/s
速度：Tz:  0.4mm/s
速度Rx Ry: 0.2度/秒
速度Rz : 0.4度/秒
負(fù)載: 400kg
剛度 XY:8.5N/um
剛度Z: 30N/um
工作溫度：0-75℃
位移平臺(tái)： dia720mm
中間通孔：dia 640mm
自身重量：99kg
線纜長度：3m
供電要求：110-240VAC