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產品簡介
自由曲面三維面型檢測儀詳細信息
自由曲面三維面型檢測儀
優(yōu)勢
√ 對各種自由曲面光學元件的表面進行非接觸全口徑測量
√ 簡單、精確、快速、可重復的測量方式，表面無需噴粉處理
√ 自動完成數據比對分析誤差，*的三維分析功能
測量功能
√ 三維面型數據測量
√ 面型逆向分析
√ 面型輪廓精度評價
適用對象
自由曲面反射鏡、曲面蓋板玻璃、精密模具、玻璃面板、透鏡、微透鏡陣列、 晶圓片等
測量原理
自由曲面三維面型檢測儀√ 結構光反射三維重構原理： 多相機拍攝經被測鏡面反射的變形的結構光圖案，通過重構算法計算被測鏡面的三維面型，通過與理想面型數據進行比對，獲得自由曲面的面型誤差分布和其它分析數據
√ 采用優(yōu)化系統(tǒng)結構設計、高精度標定方法和*的重構算法實現高測量精度
從600mm口徑的大反射鏡，到1mm口徑的微透鏡陣列，自由曲面測量系統(tǒng)提供全面的面型測量能力。
測量分析軟件
具有豐富分析功能同時易用性強的三維測量分析軟件，包括： 三維輪廓誤差 PV、RMS、表面瑕疵、曲率、斜率、尺寸分析、各種多項式擬合、空間濾波和各類數據導出
自由曲面三維面型檢測儀
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