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產品簡介
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 2L39-000009-13 |
| 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | DAIHEN | 型號 | RTGA-30A |
| P/N | 2L39-000009-13 | 頻率 | 12.88MHz |
| 輸出功率 | 3500W | 設備狀態(tài) | Refurbished |
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W RF Generator是經過現場長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源,該系列射頻電源能夠對射頻輸出實施精準控制,被廣泛的應用在濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導體制程中。RTGA 系列射頻電源具有優(yōu)良可靠的成膜能力,成膜速度快,運用于半導體制程薄膜工藝中,可以一定程度上提升產線效率和產品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊的外觀設計,能夠降低客戶的使用成本。
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W參數規(guī)格
設備品牌:DAIHEN
設備型號:RTGA-30A
AC 電源輸入:3 phase~ ,200V,27A,50/60Hz
RF 射頻輸出:12.88MHz,3500W
通訊接口:DeviceNet,Debug,Analog I/F
設備散熱:風冷+水冷散熱
水冷進水需求:MAX Torque 30N·m
設備重量:48.5kg



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