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濱松用于電子束檢測的光電二極管，是專為掃描電子顯微鏡（SEM）等場景設計，可檢測反向散射電子的專用器件，目前有多個成熟產(chǎn)品型號可選。

代表型號S11142-10?

支持1 keV及以上低能量電子束直接檢測，檢測效率達72%，具備300倍高增益，受光面尺寸14×14mm，采用薄陶瓷封裝，適配低磁干擾的使用場景。

代表型號S14605?

感光面積9×9mm，耗盡層0.5mm，采用陶瓷封裝，暗電流最大值30nA，截至頻率典型值20MHz，支持定制化調(diào)整參數(shù)

濱松這款用于電子束檢測的光電二極管，核心用途集中在電子顯微與相關(guān)精密檢測場景：

掃描電子顯微鏡（SEM）?：專門用于檢測SEM中的反向散射電子，輔助完成樣品的形貌、成分成像分析。

電子束相關(guān)檢測?：適配各類電子束的強度、位置監(jiān)測，為電子束類設備提供精準的光電信號轉(zhuǎn)換支撐。

可搭配濱松配套的信號放大模塊，進一步拓展在低能電子探測場景下的應用范圍。