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中圖光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測(cè)量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性，可測(cè)2D/3D輪廓、粗糙度，300余種特征參數(shù)……在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用，光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線(xiàn)粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑等。

SuperView W1系列中圖光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x設(shè)備以高精度、高效率、高適配的核心優(yōu)勢(shì)，為精密制造、科研檢測(cè)等領(lǐng)域提供一站式測(cè)量解決方案。如需獲取產(chǎn)品演示視頻、行業(yè)定制化方案或免費(fèi)樣品測(cè)試，歡迎隨時(shí)聯(lián)系。它以0.1nm級(jí)分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

一、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1.超高精度，數(shù)據(jù)可追溯

基于白光干涉技術(shù)，形貌重復(fù)性低至0.1nm，粗糙度RMS重復(fù)性?xún)H0.005nm，臺(tái)階測(cè)量準(zhǔn)確度達(dá)0.3%。搭配0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)與氣浮隔振底座，即便在車(chē)間振動(dòng)環(huán)境中，也能輸出穩(wěn)定可靠的數(shù)據(jù)，滿(mǎn)足ISO/ASME等300余種國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)要求。

2.高效自動(dòng)化，降本增效

W1-Ultra型號(hào)在0.1nm分辨率下掃描速度高達(dá)8μm/s，單區(qū)域、多區(qū)域測(cè)量一鍵啟動(dòng)，批量樣品可通過(guò)編程預(yù)設(shè)流程實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化檢測(cè)。某3C電子代工廠(chǎng)應(yīng)用后，檢測(cè)效率提升60%，日均處理樣品量從300件增至480件，人力成本降低30%。

3.全場(chǎng)景適配，無(wú)需頻繁換設(shè)備

單一掃描模式覆蓋超光滑到粗糙、鏡面到全透明/黑色材質(zhì)，10mm Z向掃描范圍搭配方形、圓形等多種自動(dòng)拼接模式，支持?jǐn)?shù)千張圖像無(wú)縫拼接，輕松應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體研磨件、3C玻璃屏、光學(xué)元件等不同類(lèi)型工件的測(cè)量需求。

4.自研軟件，適配性更強(qiáng)

Xtremevision Pro第二代3D測(cè)量軟件，可自動(dòng)識(shí)別中圖W/VT/WT系列機(jī)型，支持白光干涉與共聚焦模式自由切換，能直接測(cè)量微觀(guān)平面輪廓的距離、角度等參數(shù)，搭配批量分析與多格式報(bào)表導(dǎo)出功能，適配質(zhì)檢存檔與工藝優(yōu)化全流程。

二、重點(diǎn)行業(yè)應(yīng)用

1.半導(dǎo)體制造及封裝：精準(zhǔn)測(cè)量硅晶片研磨減薄后的表面粗糙度、光刻槽道形貌，某頭部半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)用后，工藝良率提升8%，檢測(cè)數(shù)據(jù)與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)樣塊偏差＜0.1%。

2.3C電子：適配手機(jī)玻璃屏粗糙度檢測(cè)、金屬殼模具瑕疵識(shí)別、油墨屏高度差測(cè)量，批量檢測(cè)無(wú)需重復(fù)調(diào)試，報(bào)表自動(dòng)導(dǎo)出（Word/Excel/PDF），滿(mǎn)足企業(yè)質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)化需求。

3.光學(xué)加工：針對(duì)納米臺(tái)階、光學(xué)元件表面粗糙度測(cè)量，實(shí)現(xiàn)916.5nm臺(tái)階高度精準(zhǔn)量化，助力某光學(xué)廠(chǎng)商降低產(chǎn)品返工率12%。

4.汽車(chē)零部件與MEMS器件：檢測(cè)精密齒輪磨損情況、軸承孔隙間隙，在復(fù)雜車(chē)間環(huán)境中保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定，某車(chē)企將零部件質(zhì)檢周期從1.5小時(shí)縮短至40分鐘。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

三、核心功能精簡(jiǎn)

1.自動(dòng)化測(cè)量：操縱桿集成XYZ軸控制、速度調(diào)節(jié)等功能，Mark點(diǎn)自動(dòng)定位校正，批量樣品測(cè)量無(wú)需人工值守。

2.數(shù)據(jù)處理與分析：內(nèi)置去噪、濾波等四大處理模塊，涵蓋粗糙度、幾何輪廓等五大分析功能，支持定制化模板批量分析。

3.安全與穩(wěn)定：雙重鏡頭防撞保護(hù)+光源無(wú)人值守自動(dòng)熄燈設(shè)計(jì)，降低設(shè)備損耗；氣浮隔振底座隔絕地面振動(dòng)，確保測(cè)量精度。

4.靈活配置：標(biāo)配10×干涉物鏡（可選2.5×-100×），320×200mm載物臺(tái)適配不同尺寸工件，滿(mǎn)足多樣化檢測(cè)需求。

中圖儀器光學(xué)3D輪廓儀設(shè)備以亞納米級(jí)測(cè)量精度、全場(chǎng)景適配能力與自動(dòng)化高效操作，在精密制造、半導(dǎo)體、3C電子等領(lǐng)域一站式解決超精密測(cè)量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測(cè)效率低等測(cè)量難題。

（注：產(chǎn)品參數(shù)可能根據(jù)技術(shù)升級(jí)實(shí)時(shí)更新，具體以新配置為準(zhǔn)，詳情可咨詢(xún)客服獲取完整資料。）