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賽默飛世爾科技（紐約證交所代碼：TMO）是科學服務領域的世界*。進入中國發(fā)展已有30余年，產品主要包括分析儀器、實驗室設備、試劑、耗材和軟件等。
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Surf-Cal微粒尺寸標準品產品參數
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 主要用途 | 用于掃描表面檢測系統(tǒng)（SSIS）的校準和維護 |
Surf-Cal微粒尺寸標準品詳細信息
賽默飛已設計生產了特定大小的微粒用來校準用于半導體工業(yè)的掃描表面監(jiān)測系統(tǒng)(SISS)。
通過與儀器生產商合作，研發(fā)生產出Surf-Cal微粒尺寸標準品(干)系列產品以滿足SEMI 標準規(guī)則要求。可提供的微粒尺寸包括半導體技術藍圖 (ITRS)1定義的關鍵的尺寸節(jié)點的大小。
使用賽默飛Surf-Cal微粒尺寸標準品(干)，粒度標準簡化校準晶片的制備，用于掃描表面檢測系統(tǒng)（SSIS）的校準和維護?？捎玫牧綄趦x器制造商要求的校準點尺寸。
特點：
- Surf-Cal標準品可用來簡化您工廠內校準晶片的準備工作。可提供的微粒尺寸與儀器生產商要求的校準點大小*。
- 將 Surf-Cal 系列 NIST 溯源的聚苯乙烯微粒置于特別選定的晶片上，您就可以執(zhí)行定期校準檢查，并可將您的掃描儀與其他地方的掃描儀進行對比。
- 您也可以在生產過程中的關鍵階段對SSIS 系統(tǒng)進行性能評估。
- 這一系列標準品懸浮于去離子過濾水中，以終濃度3×10 8個微粒/ mL、50ml瓶裝的規(guī)格包裝。PD1100 系列產品以及更小的微粒也提供濃度為10 10微粒/mL 的規(guī)格，主要用于微分遷移率分析儀（DMA）或其它尺寸排除技術輔助的領域。
測量方法：
為了確保能直接溯源至NIST，這些產品獲得認證的直徑是通過投射電子顯微鏡，或光學顯微鏡由NIST標準參考物質2轉移而得的。不確定度是根據NIST技術注釋1297, 1994版―評估與表達NIST測定結果不確定度的導則3計算而得。認證證書中標明的不確定度值是采用覆蓋因子2(K=2)擴展后的不確定度。
峰值直徑是采用微粒尺寸分布±2s的范圍計算而得。計算的尺寸分布作為峰值的標準偏移圖。變異系數是指一個標準差與峰值直徑的百分比。FWHM分布是半峰值高的分布占據峰值直徑的百分比計算而得的。
1. ―半導體技術藍圖 (ITRS)‖, 半導體工業(yè)協(xié)會 (1999)
2. S.D. Duke 與 E.B. Layendecker, ―采用電子顯微鏡進行亞微球粒子的尺寸校準的標準方法‖, 精密粒子協(xié)會 (1988)
3. Barry N. Taylor 與Chris E. Kuyatt, ―評估與表達NIST測定結果不確定度的導則‖.NIST 技術注釋 1297, 1994 版, 9月，1994.
技術參數
成分：聚苯乙烯
密度：1.05g/cm3
折射指數：1.59@589nm(25°C)
添加劑：無
標稱直徑 | 瓶裝規(guī)格 | 大約數量/g | 貨號 |
均一的 PS-DVB 干微球 – 光學顯微鏡校準 | |||
5 μm | 1g | 1.4 x 1010 | DC-05 |
6 μm | 1g | 8.4 x 1010 | DC-06 |
7 μm | 1g | 5.5 x 109 | DC-07 |
8 μm | 1g | 4.3 x 109 | DC-08 |
10 μm | 1g | 1.8 x 109 | DC-10 |
15 μm | 1g | 4.3 x 108 | DC-15 |
20 μm | 1g | 2.3 x 108 | DC-20 |
25 μm | 1g | 1.1 x 108 | DC-25 |
50 μm | 1g | 1.4 x 107 | DC-50 |
70 μm | 1g | 5.7 x 106 | DC-70 |
100 μm | 1g | 2.0 x 106 | DC-100 |
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移動站：Surf-Cal微粒尺寸標準品
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